[实用新型]一种蓝宝石LED衬底晶圆棒的多只拼接定位平台有效
申请号: | 201520276516.9 | 申请日: | 2015-04-30 |
公开(公告)号: | CN204566424U | 公开(公告)日: | 2015-08-19 |
发明(设计)人: | 张松林;李林森;周君君 | 申请(专利权)人: | 成都超迈光电科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610058 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 led 衬底 晶圆棒 拼接 定位 平台 | ||
【权利要求书】:
1.一种蓝宝石LED衬底晶圆棒的多只拼接定位平台,包括:基台、移动滑块、固定螺母、精密螺杆、手柄,其特征在于:所述基台和移动滑块与晶圆棒的接触面上设置有弹性缓冲面,所述基台为左右对称结构,所述移动滑块、固定螺母、精密螺杆、手柄的数量均为两组。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石LED衬底晶圆棒的多只拼接定位平台,其特征在于所述弹性缓冲面的材质为碳毯面。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石LED衬底晶圆棒的多只拼接定位平台,其特征在于所述基台与移动滑块的水平高度低于晶圆棒的高度。
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