[实用新型]一种蓝宝石LED衬底晶圆棒的多只拼接定位平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶圆棒加工领域，尤其是涉及晶圆棒多只拼接定位装置。

背景技术

蓝宝石LED衬底的多线切割是制备衬底晶圆的关键工序，目前国内大多采用德国、日本等国家的设备进行切割，辅助X射线定向仪定位，以满足不同客户对晶圆的特定要求，原有蓝宝石LED衬底晶圆棒多线切割大多为单只切割，即将晶圆棒放在工作台面通过X射线定向仪调整好晶圆棒晶向后，使用胶粘接在工作台面，后装夹在设备上进行切割，单只切割效率低，设备利用率低。而多只切割由于难以解决粘接晶圆棒晶轴方向一致，易造成后续粘接晶圆棒切割后晶圆片晶向超差，多只切割需要一种多只拼接定位装置来确保粘接在切割工作台面上的晶圆棒晶轴一致。

发明内容

针对以上存在的缺陷，本实用新型提供一种蓝宝石LED衬底晶圆棒的多只拼接定位平台，该装置配合X射线定向仪使用确保拼接在工作台面上的晶圆棒晶向的一致性。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：提供一种蓝宝石LED衬底晶圆棒的多只拼接定位平台，包括:基台、移动滑块、固定螺母、精密螺杆、手柄，其特征在于：所述基台和移动滑块与晶圆棒的接触面上设置有弹性缓冲面，所述基台为左右对称结构，所述移动滑块、固定螺母、精密螺杆、手柄的数量均为两组。

本实用新型进一步设置为：所述弹性缓冲面的材质为碳毯面。

本实用新型进一步设置为：所述基台与移动滑块的水平高度低于晶圆棒的高度。

本实用新型由于采用了上述技术，与现有技术相比具有的积极有益效果为：该装置配合X射线定向仪可快速对蓝宝石晶圆棒拼接切割进行精确定位，使生产效率和产品质量都得到大幅度提高，切割成本将降低30%以上，切割效率大幅增加。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1—基台、2—弹性缓冲面、3—晶圆棒I 、4—连接处、5—晶圆棒II、6—弹性缓冲面、7—移动滑块、8—固定螺母、9—精密螺杆、10—手柄。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明，本实用新型的实施方式包括但不限于下列实施例。

实施例：为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

如图1所示，本实用新型提供了一种蓝宝石LED衬底晶圆棒的多只拼接定位平台，包括：1—基台、2—弹性缓冲面、3—晶圆棒I 、4—连接处、5—晶圆棒II、6—弹性缓冲面、7—移动滑块、8—固定螺母、9—精密螺杆、10—手柄。

实施例

1、使用X射线定向仪检查晶圆棒I（3）与晶圆棒II（5）晶向，将其晶向控制在0.05°以内、检查端面与柱面的垂直度，控制在0.05mm以内。

2、将晶圆棒I（3）与晶圆棒II（5）首尾相接，晶圆棒标志弦与基台（1）的平面接触，调整晶圆棒I（3）与晶圆棒II（5）位置，使其中心线尽可能重合在一条线上。

3、锁死固定螺母（8），旋转手柄（10），让精密丝杆移动滑块（7）前行，直至晶圆棒I（3）与晶圆棒II（5）完全接触，接触面（4）完全接触，使用502胶水滴入接触处（4），待5-8分钟完全固化后，松动手柄（10），取出已经粘接一起的晶圆棒I（3）与晶圆棒II（5），后粘接至工作台，使用X射线定向仪确定晶向，装夹至多线切割设备上切割。

本实用新型为左右对称结构，两侧的操作台操作方式统一，一次安装最多可夹装4块晶圆棒，大大提高了生产效率。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。