[实用新型]环形扩展光源干涉系统

权利要求书

1.一种环形扩展光源干涉系统，其特征在于：所述干涉系统主要包括激光器(1)、全息光学元件(2)、聚焦透镜(3)、空间滤波器(4)、散射屏(5)、分光镜(6)、准直透镜(7)、平面反射镜(9)、成像透镜(10)和计算机(12)，所述激光器(1)后侧依次设置全息光学元件(2)、聚焦透镜(3)、空间滤波器(4)、散射屏(5)、分光镜(6)、准直透镜(7)和平面反射镜(9)，所述成像透镜(10)与分光镜(6)相对而设，成像透镜(10)的法线方向与激光方向垂直。

2.根据权利要求1所述的环形扩展光源干涉系统，其特征在于：按照激光器(1)的激光方向依次设置激光器(1)、全息光学元件(2)、聚焦透镜(3)、空间滤波器(4)、散射屏(5)、分光镜(6)、准直透镜(7)和平面反射镜(9)，待测镜(8)设置在准直透镜(7)和平面反射镜(9)之间。

3.根据权利要求1所述的环形扩展光源干涉系统，其特征在于：所述干涉系统还包括CCD(11)，CCD(11)设置在成像透镜(10)后侧，所述计算机(12)分别与全息光学元件(2)和CCD(11)相连。

4.根据权利要求1所述的环形扩展光源干涉系统，其特征在于：所述全息光学元件(2)设置聚焦透镜(3)的前焦平面上，所述空间滤波器(4)设置在聚焦透镜(3)的后焦平面上。

5.根据权利要求3所述的环形扩展光源干涉系统，其特征在于：所述计算机(12)与全息光学元件(2)之间设置有掩模板(13)。