[实用新型]阀组件和真空室组件

权利要求书

1.一种阀组件(100)，用于密封真空室壳体(302)的基体-转运-开口(302o)，该阀组件(100)具有：

阀盖(102)，其具有第一端部(112a)、第二端部(112b)以及在两个端部(112a，112b)之间的密封部(102d)；

轴承-组件(104)，用于在打开位置与闭合位置之间可旋转地支承阀盖(102)；

其中，轴承-组件(104)仅与阀盖(102)的两个端部(112a，112b)联接；以及

其中，密封部(102d)被设置成，用于将基体-转运-开口(302o)密封在阀盖(102)的闭合位置上。

2.根据权利要求1所述的阀组件(100)，

其中，轴承-组件(104)具有第一可旋转地被支承的旋转臂(104a)和第二可旋转地被支承的旋转臂(104b)，其中，第一可旋转地被支承的旋转臂(104a)被固定在第一端部(112a)上，且其中，第二可旋转地被支承的旋转臂(104b)被固定在第二端部(112b)上。

3.根据权利要求2所述的阀组件(100)，

其中，轴承-组件(104)这样地被固定在端部(112a，112b)上，即，在阀盖(102)的闭合位置上，第一端部(112a)在第一可旋转地被支承的旋转臂(104a)与真空室壳体(302)之间延伸，且第二端部(112b)在第二可旋转地被支承的旋转臂(104b)与真空室壳体(302)之间延伸。

4.根据权利要求2所述的阀组件(100)，

其中，轴承-组件(104)这样地被设置，即，可旋转地被支承的旋转臂(104a，104b)分别是分开可运动的和/或可设置的。

5.根据权利要求1所述的阀组件(100)，

其中，密封部(104d)具有密封唇，且其中，密封唇这样地被设置，即，密封唇在阀盖(102)的闭合位置上完全密封在阀盖(102)与真空室壳体(302)的包围基体-转运-开口(302o)的密封面(302d)之间的缝隙。

6.根据权利要求1所述的阀组件(100)，

其中，密封部(102d)限定阀盖(102)的密封面(102f)；以及

其中，阀盖(102)具有用于将阀盖(102)弯曲的弯曲结构(106)，其中，该弯曲结构(106)这样地被设置，即当阀盖(102)弯曲时密封面(102f)的曲率改变。

7.一种真空室组件(300,400,500)，具有：

带有基体-转运-开口(302o)的真空室壳体(302)；以及

根据权利要求1至6中任一项所述的阀组件(100)。

8.根据权利要求7所述的真空室组件(300,400,500)，

其中，真空室壳体(302o)具有包围基体-转运-开口(302o)的密封面(302d)，其中，阀组件(100)相对于真空室壳体(302)这样地被布置，即，阀组件(100)在闭合位置上通过密封部(102d)挤压真空室壳体(302)的密封面(302d)。

9.根据权利要求7所述的真空室组件(300,400,500)，此外具有：

运输装置(304)，用于将基体(308)运输通过真空室壳体(302)的基体-转运-开口(302o)，

其中，阀组件(100)这样地被设置且相对于真空室壳体(302)地被布置，即，在阀组件(100)的打开位置上，基体(308)可被运输通过真空室壳体(302)的基体-转运-开口(302o)。