[实用新型]溅射旋转靶材直线度检验装置有效
| 申请号： | 201520298256.5 | 申请日： | 2015-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN204788279U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 曹兴民;周俊琪 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 徐伟奇 |
| 地址： | 215214 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 旋转 直线 检验 装置 | ||
【权利要求书】：
1.溅射旋转靶材直线度检验装置,包括芯轴(1)、红外线探头(2)、铁氟龙支撑轮(4)和数显表(5)；其特征在于，芯轴(1)一端安装数显表(5)，芯轴(1)中部安装红外线探头（2），芯轴(1)上红外线探头(2)两侧分别套装铁氟龙支撑轮(4)。
2.如权利要求1所述的溅射旋转靶材直线度检验装置，其特征在于，数显表(5)与红外线探头(2)之间连接数据线(3)。
3.如权利要求1所述的溅射旋转靶材直线度检验装置，其特征在于，铁氟龙支撑轮(4)通过轴承套装在芯轴(1)上，铁氟龙支撑轮(4)外径接近管靶(6)内径。
4.如权利要求1所述的溅射旋转靶材直线度检验装置，其特征在于，芯轴(1)两端分别连接在机架上，并且与驱动装置连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于基迈克材料科技（苏州）有限公司，未经基迈克材料科技（苏州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520298256.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种能防倾斜的测深仪
- 下一篇：一种基于机器视觉的电池卷绕设备
