[实用新型]溅射旋转靶材直线度检验装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及旋转溅射靶材管靶检测装置，尤其是溅射旋转靶材直线度检验装置。

背景技术

随着技术的进步，靶材的设计逐渐由平面靶材向旋转靶材过渡，因为旋转靶材的材料利用率可以达到80%，而一般平面靶材利用率只能达到30%；旋转耙材在使用过程中不断旋转，耙材表面可以保持光滑，不会产生“结瘤”俗称“靶材中毒”，可以保障成膜的均匀性，减少缺陷，提高成品率。期望通过使用旋转靶材达到降低成本、提高膜层质量和提高成品率的目的。对于旋转溅射靶材，由于在溅射使用过程中，管内装有磁钢，对内径的直线度要求很高，一般要求直线度≤0.5mm。金属管靶在浇铸、喷涂、挤压或加工过程中，难免会产生弯曲变形，直线度达不到使用要求。

关于溅射靶材的检测技术文献公开较少，如：中国专利申请201210594604.4提供一种固体密度测量方法和检验靶材密度是否合格的方法，其中固体密度测量方法，包括：提供固体试样；测量固体试样在空气中的质量为第一测量质量M0；将固体试样浸没在液体中，测量固体试样在液体中的质量为第二测量质量M2；根据M0+ρ_空gV_物＝M2+ρ_液gV_物，获取固体试样的体积；其中，ρ_空为空气的密度、ρ_液为液体的密度；根据固体试样的体积以及实际质量，获取固体试样的密度，所述实际质量为M0+ρ_空gV_物或M2+ρ_液gV_物。该发明还提供一种检验靶材密度是否合格的方法。

此外，尚未有专用的方法或设备可供采用，使得相关工作仅能借助人工目测或借助测量工具完成。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供溅射旋转靶材直线度检验装置，解决金属旋转靶材管靶管内直线度的精确检测。

本实用新型的目的将通过以下技术措施来实现：包括芯轴、红外线探头、铁氟龙支撑轮和数显表；芯轴一端安装数显表，芯轴中部安装红外线探头，芯轴上红外线探头两侧分别套装铁氟龙支撑轮。

尤其是，数显表与红外线探头之间连接数据线。

尤其是，铁氟龙支撑轮通过轴承套装在芯轴上，铁氟龙支撑轮外径接近管靶内径。

尤其是，芯轴两端分别连接在机架上，并且与驱动装置连接。

本实用新型的优点和效果：通过内置结构设计，使得检测时能够方便的置入管靶中，依靠红外测距精细分析管靶内壁的起伏测量直线度，装置已与制作生产，检测过程简明扼要，操作简便易行，精密度较高，缩短检测周期，效率显著提升，检测精确，也便于自动化设计和改造。

附图说明

图1为本实用新型实施例1结构示意图。

附图标记包括：芯轴1、红外线探头2、数据线3、铁氟龙支撑轮4、数显表5、管靶6。

具体实施方式

本实用新型原理在于，管靶一般自重较大，而且外部结构均匀致密，在检测时需要对管靶的内壁进行，所以检测装置需要被设计成轻便而且简洁的结构，方便在管靶的内壁间置入并转动检测。

本实用新型包括：芯轴1、红外线探头2、铁氟龙支撑轮4和数显表5。

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例1：如附图1所示，芯轴1一端安装数显表5，芯轴1中部安装红外线探头2，芯轴1上红外线探头2两侧分别套装铁氟龙支撑轮4。

前述中，数显表5与红外线探头2之间连接数据线3。数显表5旁安装有电源开关。

前述中，铁氟龙支撑轮4通过轴承套装在芯轴1上，铁氟龙支撑轮4外径接近管靶6内径。

前述中，芯轴1为铝合金方管结构。

前述中，芯轴1两端分别连接在机架上，并且与驱动装置连接。

本实用新型中，把红外线测距仪固定在铝方管的芯轴1中间位置，探头向外；在铝方管的芯轴1端部侧边固定数显仪表5，通过数据线3把红外线测距信号数显在显仪表5上；铝方管的芯轴1两端安装固定耐磨的铁氟龙支撑轮4，可以使被测管靶6和测量装置实现相对转动。

本实用新型在工作时，把已安装红外线探头2的芯轴1插入管靶6中，铁氟龙支撑轮4外径接近管靶6内径，顶紧管靶6内壁，打开电源开关，数显表4显示的数值为红外线探头2到管靶6内壁的距离；相对旋转芯轴1和管靶6，测得管靶6内壁同一过轴断面上连续各点到红外线探头2的距离，也就，得到了，这些点到管靶6内壁中轴线的距离即内径，并且进一步得出其差值，可以测得起伏数据，以反映直线度，当然，可以沿轴线相对移动芯轴1和管靶6，即可以得到轴线方向上的内部起伏，即最大值与最小值的差异（Max-Min）反应直线度的大小。