[实用新型]气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元

权利要求书

1.一种气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元，其特征在于，该气体隔离腔所连接的真空泵先组接于一机台，其中，机台架设有顶接真空泵下方的真空泵防震单元，真空泵防震单元至少设有一立顶体，立顶体上端朝上延伸有一上螺纹段，上螺纹段上方旋接有一贴接真空泵下缘的防震体。

2.根据权利要求1所述的气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元，其特征在于，所述防震体下端可增设有一防震旋体，防震旋体下方又具有一旋接上螺纹段的防震螺孔。

3.根据权利要求1所述的气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元，其特征在于，所述上螺纹段又可旋设有螺帽，螺帽又可上旋抵撑于防震体下缘。

4.根据权利要求1所述的气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元，其特征在于，所述防震体是贴接真空泵下缘，且防震体又可为一硬质橡胶。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元，其特征在于，所述立顶体底端又朝上凹设有一螺孔，螺孔另旋接有一下螺纹段，下螺纹段下方又固定有一支撑体，支撑体下方又固接有一贴接机台的支撑垫。