[实用新型]气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元

说明书

技术领域

本实用新型尤指一种气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元，该真空泵防震单元主要用于支撑真空泵，避免真空泵受外力震动的功效。

背景技术

首先，请参阅图1、图2所示，【为现有的真空泵下悬组装示意、真空泵侧悬组装示意图】；一般的光罩、或晶圆片等半导体物料加工时，为避免其遭受异物污染，多数会置入于气体隔离腔9中以真空或以特殊气体保护加工，而气体隔离腔9在光罩、或晶圆片等半导体物料至入前或后，利用真空泵8将气体隔离腔9一般气体抽离至真空，而后，方可有利气体隔离腔9以真空模式加工，或者，据高纯度特殊气体保护加工。另外，真空泵8组接于一机台7，主要用于机台7配置及相对装设的气体隔离腔9真空抽取，而真空泵8大多为下悬组装于机台7内(如图1所示)，另外，真空泵8又可为侧悬方式组接于机台7内(如图2所示)。(另外，光罩、晶圆片与半导体物料，在此未绘出及标号)。

但，真空泵8是一造价极高，且内部是极其精密的物件，致真空泵8受限于精密组设，故不适合于震动环境下操作，因此，真空泵8常在高强度震动与地震中损毁，以及触动保护机制而停机。

实用新型内容

为改善现有真空泵有在高强度震动与地震中损毁，以及触动保护机制而停机的缺失，本实用新型提供一种气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元，其是令真空泵避免在强度较高震动中受损的真空泵防震结构，并据真空泵防震单元于真空泵下方支撑。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元，，该真空泵先组接于机台，其中，机台架设有顶接真空泵下方的真空泵防震单元，真空泵防震单元至少设有：一立顶体，立顶体上端朝上延伸有一上螺纹段，上螺纹段上方旋接有一贴接真空泵下缘的防震体。而防震体下端可增设有一防震旋体，防震旋体下方又具有一旋接上螺纹段的防震螺孔。

另外，上螺纹段又可旋设有螺帽，螺帽又可上旋抵撑于防震体下缘。而后，防震体是贴接真空泵下缘，且防震体又可为一硬质橡胶。

又立顶体底端又朝上凹设有一螺孔，螺孔另旋接有一下螺纹段，下螺纹段下方又固定有一支撑体，支撑体下方又固接有一贴接机台的支撑垫。

借以上组成，可知机台是以真空泵防震单元朝上顶接真空泵，据之，有效防止真空泵受高强度震动影响，用以排除现有所述缺失，同时，本实用新型是利用防震体与上螺纹段旋接令真空泵防震单元有调整组接的优点及功效。

本实用新型的有益效果是，其是令真空泵避免在强度较高震动中受损的真空泵防震结构，并据真空泵防震单元于真空泵下方支撑。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1为现有的真空泵下悬组装示意图。

图2为现有的真空泵侧悬组装示意图。

图3为本实用新型的真空泵防震单元组接示意图。

图4为本实用新型的真空泵防震单元组接放大图。

图5为本实用新型的真空泵防震单元操作示意图。

图6为本实用新型的真空泵防震结构另一示意图。

图中标号说明：

7机台

8真空泵

9气体隔离腔

1气体隔离腔

2真空泵

3真空泵防震单元

31立顶体

311螺孔

32上螺纹段

321螺帽

33防震体

34防震旋体

341防震螺孔

36下螺纹段

4机台

41支架

5支撑体

6支撑垫

具体实施方式

请参阅图3、图4、图5所示，【为本实用新型的真空泵防震单元组接示意、真空泵防震单元组接放大、真空泵防震单元操作示意图】；指本实用新型的一种气体隔离腔1用的真空泵2的真空泵防震单元3，该真空泵2先组接于机台4，其中，机台4架设有顶接真空泵2下方的真空泵防震单元3，真空泵防震单元3至少设有：一立顶体31，立顶体31上端朝上延伸有一上螺纹段32，上螺纹段32上方旋接有一贴接真空泵2下缘的防震体33(如：图3、图4所示)(另外：光罩、晶圆片与半导体物料，在此未绘出及标号)。