[实用新型]用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置

权利要求书

1.用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，其特征在于：包括平台(1)和支架(2)，所述平台(1)的两侧均设有支撑轴(13)，所述平台(1)通过支撑轴(13)与支架(2)中的侧板(21)上端面接触并将平台(1)支撑在支架(2)的上部，所述支架(2)一侧部设有偏心轮驱动装置(3)，所述偏心轮驱动装置(3)中的偏心轮(31)中心处于最低点时，靠近偏心轮(31)的两个支撑轴(13)与偏心轮(31)的外圆柱面接触，所述偏心轮驱动装置(3)转动后驱动平台(1)上下晃动，从而使置于平台(1)上的化学腐蚀槽内的多晶硅样棒得到均匀腐蚀。

2.根据权利要求1所述的用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，其特征在于：所述平台(1)主要是在底板(11)的四周垂直设围堰(12)而构成的盘型结构，所述围堰(12)的两侧边缘均设有支撑轴(13)。

3.根据权利要求1所述的用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，其特征在于：所述支架(2)是由镂空型的筋板(22)将两个平行的侧板(21)垂直连接而成，所述侧板(21)的上端面是由S型面(211)、支撑面(212)和凸面(213)依次连接而成的异型面，所述支撑面(212)与水平面的夹角为5°，所述平台(1)中的支撑轴(13)压在支撑面(212)上并通过S型面(211)和凸面(213)从两端卡定限位使平台(1)支撑在支架(2)的上部。

4.根据权利要求1所述的用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，其特征在于：所述偏心轮驱动装置(3)是通过连接光轴(32)将两个偏心轮(31)固定连接为一体而成且转动时两个偏心轮(31)的运动轨迹相同，所述连接光轴(32)穿过两个侧板(21)中靠近凸面(213)的一侧且与平台(1)平行，并将两个偏心轮(31)分别置于两个侧板(21)的外侧，所述连接光轴(32)与侧板(21)上的孔为间隙配合，所述平台(1)上靠近偏心轮(31)的两个支撑轴(13)同时还与偏心轮(31)的外圆柱面接触，所述偏心轮(31)中其中一个的外端面上设有手柄(33)，所述手柄(33)的轴心与连接光轴(32)的轴心落在偏心轮(31)的同一直径上且置于偏心轮(31)中心的两侧，所述手柄(33)中心轴到偏心轮(31)中心的距离大于连接光轴(32)中心轴到偏心轮(31)中心的距离。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，其特征在于：所述平台(1)、支架(2)和偏心轮驱动装置(3)均是由聚四氟乙烯制成。