[实用新型]用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置

说明书

技术领域

本实用新型属多晶硅实验辅助设备技术领域，具体涉及一种用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置。

背景技术

在多晶硅的实验检测过程中，首先要求对多晶硅套料样棒进行化学腐蚀操作，以去除在套料过程中对多晶硅样棒表面带来的污染。目前对样棒的化学腐蚀是由操作人员将套好的多晶硅样棒放在盛放有氢氟酸和硝酸的聚四氟乙烯酸槽里面进行腐蚀，在腐蚀过程中需要操作人员手动晃动酸槽，使得酸液和多晶硅样棒表面充分接触，已达到最佳的腐蚀效果。由于氢氟酸和硝酸都具有很强的腐蚀性，即使操作人员在手动晃动过程中很小心，但是由于摇晃力度的不均匀，也很有可能会把酸液晃出酸槽，对操作人员存在有很大的安全隐患，因此有必要提出改进。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题：提供一种用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，将化学腐蚀槽放置于平台上，手摇手柄使偏心轮转动，偏心轮的转动驱动平台作上下晃动，从而使化学腐蚀槽内的多晶硅样棒表面腐蚀均匀，有效避免了酸液溅出化学腐蚀槽而造成的人身安全等隐患。

本实用新型采用的技术方案：用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，包括平台和支架，所述平台的两侧均设有支撑轴，所述平台通过支撑轴与支架中的侧板上端面接触并将平台撑在支架的上部，所述支架一侧部设有偏心轮驱动装置，所述偏心轮驱动装置中的偏心轮的中心处于最低点时，靠近偏心轮的两个支撑轴与偏心轮的外圆柱面接触，所述偏心轮驱动装置转动后驱动平台上下晃动，从而使置于平台上的化学腐蚀槽内的多晶硅样棒得到均匀腐蚀。

其中，所述平台主要是在底板的四周垂直设围堰而构成的盘型结构，所述围堰的两侧边缘均设有支撑轴。

所述支架是由镂空型的筋板将两个平行的侧板垂直连接而成，所述侧板的上端面是由S型面、支撑面和凸面依次连接而成的异型面，所述支撑面与水平面的夹角为5°，所述平台中的支撑轴压在支撑面上并通过S型面和凸面从两端卡定限位使平台支撑在支架的上部。

所述偏心轮驱动装置是通过连接光轴将两个偏心轮固定连接为一体而成且转动时两个偏心轮的运动轨迹相同，所述连接光轴穿过两个侧板中靠近凸面的一侧且与平台平行，并将两个偏心轮分别置于两个侧板的外侧，所述连接光轴与侧板上的孔为间隙配合，所述平台上靠近偏心轮的两个支撑轴同时还与偏心轮的外圆柱面接触，所述偏心轮中其中一个的外端面上设有手柄，所述手柄的轴心与连接光轴的轴心落在偏心轮的同一直径上且置于偏心轮中心的两侧，所述手柄中心轴到偏心轮中心的距离大于连接光轴中心轴到偏心轮中心的距离。

进一步地，所述平台、支架和偏心轮驱动装置均是由聚四氟乙烯制成。

本实用新型与现有技术相比有以下优点：

1、在平台的四周垂直设围堰使平台形成盘型结构，防止化学腐蚀槽从平台上滑落下来；

2、在围堰的两侧边缘均设有支撑轴，并且侧板的上端面是由S型面、支撑面和凸面依次连接而成的异型面，有利于平台在支架上可靠固定和平稳转动；

3、将支撑面与水平面的夹角设为5°，便于化学腐蚀槽中的多晶样棒在平台晃动时可在酸液里来回滚动，从而使多晶硅样棒腐蚀更均匀；

4、本实用新型有效防止了酸液从化学腐蚀槽中溅出而造成的人身安全等问题，具有制造成本低，腐蚀效果好，操作简单，安全可靠的特点。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1的A向结构示意图；

图3为本实用新型中的平台结构示意图；

图4为本实用新型中的支架结构示意图；

图5为本实用新型中的偏心轮驱动装置结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图1-5描述本实用新型的一种实施例。