[实用新型]掩膜板变形的检查系统

权利要求书

1.一种掩膜板变形的检查系统，其特征在于，包括：

设置于蒸镀设备中的光源体；

设置于所述蒸镀设备中且与所述光源体、掩膜板相对应设置的图像传感器，用于在每次蒸镀前，于所述光源体的照射下，对所述掩膜板进行拍照以获取所述掩膜板的图像；

与所述图像传感器连接的图像处理器，用于计算所述图像传感器所获取的第一张所述掩膜板的图像与之后所述图像传感器获取的每一张所述掩膜板的图像之间的图像相似度。

2.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，所述图像传感器为CCD图像传感器。

3.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，所述检查系统还包括：

设置于蒸镀设备中的转盘，用于调节所述光源体、图像传感器与掩膜板的相对位置。

4.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，所述图像处理器包括：

转换模块，用于将所述图像传感器获取的每张图像转换为相同大小尺寸的图像；

与所述转换模块连接的灰度值模块，用于获取转换后每张图像的灰度值；

与所述灰度值模块连接的相似度模块，用于根据灰度值计算所述图像传感器所获取的第一张所述掩膜板的图像与之后所述图像传感器获取的每一张所述掩膜板的图像之间的图像相似度。

5.根据权利要求4所述的检查系统，其特征在于，所述图像处理器还包括：

存储模块，用于存储所述转换模块转换后的每张图像。

6.根据权利要求4所述的检查系统，其特征在于，所述灰度值模块与相似度模块均包括逻辑门计算器件。

7.根据权利要求1－6任一所述的检查系统，其特征在于，所述检查系统还包括：

报警装置，用于在所述图像处理器计算出的图像相似度小于预定值时发出报警信号。

8.根据权利要求7所述的检查系统，其特征在于，所述报警装置包括：

判断模块，用于判断所述图像处理器计算出的图像相似度是否小于预定值；

与所述判断模块连接的报警模块，用于在所述图像处理器计算出的图像相似度小于预定值时，发出报警信号。

9.根据权利要求8所述的检查系统，其特征在于，所述报警模块为信号指示灯。