[实用新型]掩膜板变形的检查系统有效

专利信息
申请号: 201520324794.7 申请日: 2015-05-19
公开(公告)号: CN204577405U 公开(公告)日: 2015-08-19
发明(设计)人: 党鹏乐;张小宝;张秀玉;姜海滨;王志祥;丁立薇 申请(专利权)人: 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;H01L51/56
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 唐清凯
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 掩膜板 变形 检查 系统
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及OLED显示技术领域,特别是涉及一种掩膜板变形的检查系统。

背景技术

随着多媒体技术的发展和信息社会的来临,对平板显示器性能的要求越来越高。显示技术通常包括三种:等离子显示器、场发射显示器和有机电致发光显示器,其均在一定程度上弥补了阴极射线管和液晶显示器的不足。其中,有机致电发光显示器由于具有自主发光、低电压直流驱动、全固化、视角宽、颜色丰富等一系列的优点,其制造成本低于同等分辨率的液晶显示器,因此,有机电致发光显示器具有广阔的应用前景。

有机电致发光显示器,又称有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED),其研究始于上个世纪60年代,到目前为止,对于OLED,全彩色、大面积、高信息量的平板显示器是OLED发展的最重要目标之一。随着单色发光显示应用的日趋成熟,对全彩显示器件的研究越发兴起。其中,全色图像显示需要获得在可见光波长范围内连续可调的颜色,目前,有机电致发光实现显示主要是采用蒸镀技术,即真空环境下,通过Mask(掩膜板),将R、G、B的图像蒸镀在基板上。但在生产过程中,如果Mask发生变形或尺寸不对,容易产生混色,且当Mask发生变形后,只有通过蒸镀才能发现,造成成本的浪费。

实用新型内容

基于此,有必要针对掩膜板发生变形后,只能蒸镀后进行检测的技术问题,提供一种掩膜板变形的检查系统,在蒸镀前即可对掩膜板是否发生变形进行检查,以节省成本。

一种掩膜板变形的检查系统,包括:

设置于蒸镀设备中的光源体;

设置于所述蒸镀设备中且与所述光源体、掩膜板相对应设置的图像传感器,用于在每次蒸镀前,于所述光源体的照射下,对所述掩膜板进行拍照以获取所述掩膜板的图像;

与所述图像传感器连接的图像处理器,用于计算所述图像传感器所获取的第一张所述掩膜板的图像与之后所述图像传感器获取的每一张所述掩膜板的图像之间的图像相似度。

在其中一个实施例中,所述图像传感器为CCD图像传感器。

在其中一个实施例中,所述检查系统还包括:

设置于蒸镀设备中的转盘,用于调节所述光源体、图像传感器与掩膜板的相对位置。

在其中一个实施例中,所述图像处理器包括:

转换模块,用于将所述图像传感器获取的每张图像转换为相同大小尺寸的图像;

与所述转换模块连接的灰度值模块,用于获取转换后每张图像的灰度值;

与所述灰度值模块连接的相似度模块,用于根据灰度值计算所述图像传感器所获取的第一张所述掩膜板的图像与之后所述图像传感器获取的每一张所述掩膜板的图像之间的图像相似度。

在其中一个实施例中,所述图像处理器还包括:

存储模块,用于存储所述转换模块转换后的每张图像。

在其中一个实施例中,所述灰度值模块与相似度模块均包括逻辑门计算器件。

在其中一个实施例中,所述检查系统还包括:

报警装置,用于在所述图像处理器计算出的图像相似度小于预定值时发出报警信号。

在其中一个实施例中,所述报警装置包括:

判断模块,用于判断所述图像处理器计算出的图像相似度是否小于预定值;

与所述判断模块连接的报警模块,用于在所述图像处理器计算出的图像相似度小于预定值时,发出报警信号。

在其中一个实施例中,所述报警模块为信号指示灯。

本实用新型所述的检查系统将图像传感器获取的第一张掩膜板的图像与后续获取的每一张掩膜板的图像进行对比,以计算第一张掩膜板的图像与后续每一张掩膜板的图像之间的图像相似度,检查掩膜板是否发生变形,其中,图像传感器获取的第一张掩膜板图像为掩膜板的原始图像,后续获取的每一张图像均为下次蒸镀前需要检查的掩膜板的图像。因此,本实用新型所述检查系统可在蒸镀前对掩膜板是否发生变形进行检查,以确定掩膜板是否发生变形,从而在蒸镀前提前预警掩膜板的变形、堵塞、下垂,减少由于掩膜板变形导致的蒸镀不良等技术问题,并相应的降低成本。

附图说明

图1为本实用新型所述检查系统的连接关系示意图;

图2为本实用新型所述图像处理器的结构示意图。

具体实施方式

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