[实用新型]一种硅单晶片研磨用的研磨液回收装置

权利要求书

1.一种硅单晶片研磨用的研磨液回收装置，其特征在于：包括研磨液过滤罐（4）、循环供应罐（1）和设置在循环供应罐（1）内的供应泵（2），供应泵（2）通过带有控制阀的供液管（3）将循环供应罐（1）内的研磨液输送给研磨机，研磨机排出的研磨液流入研磨液过滤罐（4）中，且研磨液过滤罐（4）的罐口处设置有过滤研磨液的过滤网（5），所述循环供应罐（1）内还设置有用于将研磨液过滤罐（4）内经过过滤的研磨液吸入到循环供应罐（1）内并进行搅拌混合的搅拌泵（6）。

2.根据权利要求1所述的一种硅单晶片研磨用的研磨液回收装置，其特征在于：所述循环供应罐（1）的上部设置有凹陷，研磨液过滤罐（4）设置在该凹陷内，且其顶部与循环供应罐（1）的顶部平齐，研磨液过滤罐（4）的底部设置有通孔，搅拌泵（6）的吸液口与该通孔连通。

3.根据权利要求1所述的一种硅单晶片研磨用的研磨液回收装置，其特征在于：所述供液管（3）上设置带有阀门的排液管（7），排液管（7）的一端连接在供应泵（2）与控制阀之间的位置，另一端通入研磨液废弃池。