[实用新型]处理系统和用于工艺腔室中的基板载体

说明书

技术领域

本公开案的实施方式一般涉及一种基板支撑件，并且更具体而言，涉及一种适用于垂直和其他处理系统中的具有电磁掩膜夹盘的基板载体。

背景技术

出于众多原因使用利用有机材料的光电器件。许多用于制造这种器件的材料是相对便宜的，所以有机光电器件与无机器件相比在成本优势方面具有潜能。此外，有机材料的固有特性(如柔性)可有利于特定应用，如用于柔性基板上的沉积或形成。有机光电器件的实例包括有机发光器件(organiclightemittingdevices；OLEDs)、有机光电晶体管、有机光伏电池和有机光电检测器。

对于OLED，有机材料被认为与其他材料相比具有性能优势。例如，一般可用适宜的掺杂物轻易调谐有机发光层发光的波长。OLED利用跨器件施加电压时发光的薄有机膜。OLED正在成为用于如平板显示器、照明和背光等应用中的日益引人关注的技术。

通常使用机械力将基板以及精制金属掩膜固持在基板载体上。其他用于在处理期间固持基板和掩膜的机械接触常会因施加高机械力而造成基板损坏。进一步施加机械力以在处理期间将精制金属掩膜固持在适当位置中。其他机械载体一般在边缘处固持基板，因此在基板边缘处产生高度集中的物理接触，以便确保施加足够夹紧力来稳固地拾取基板。集中于基板边缘处的这种机械接触不可避免地产生接触污染或物理损坏，使基板不当地劣化。

较新的处理系统已纳入用于夹持基板的替代机构以避免上述损坏，如使用静电力将基板固持在适当位置中。静电力可在处理期间将基板有效地固持在适当位置中，同时最小化系统的金属部件与基板之间的接触。然而，使用静电力将掩膜夹持在基板上的适当位置中已被证明是非常具有挑战性的。

因此，需要一种用于在处理系统中独立于基板稳固地定位掩膜的设备。

实用新型内容

本公开案提供一种电磁掩膜夹盘。可将电磁掩膜夹盘整合至工艺腔室中或工艺腔室中所使用的基板载体中。通过合并一系列电磁体，可以受控方式将掩膜和基板夹持至基板载体。

在一个实施方式中，描述一种处理系统。处理系统可包括工艺腔室，所述工艺腔室被配置以接收固持基板的基板载体，并且在处于基板载体上时在基板上沉积材料。处理系统可进一步包括定位于工艺腔室中的电磁掩膜夹盘。电磁掩膜夹盘可包括多个电磁体，所述电磁铁可操作以透过基板载体将掩膜夹持至基板。

在另一实施方式中，描述一种用于工艺腔室中的基板载体。基板载体可包括支撑基座，所述支撑基座被配置以传送基板进出处理腔室，所述支撑基座具有基板支撑表面。基板载体可进一步包括耦接至支撑基座的电磁掩膜夹盘。电磁掩膜夹盘可包括多个电磁体，所述电磁铁可操作以透过基板载体将掩膜夹持至基板。

附图说明

因此，为可详细理解本实用新型的上述特征结构，可参照实施方式对上文简要概述进行更详细描述，其中一些实施方式示出于附图中。然而，应注意，附图仅示出本实用新型的典型实施方式，并且因此这些附图不欲视为本实用新型范畴的限制，因为本实用新型可允许其他同等有效的实施方式。

图1A至图1D示出示意图，所述示意图图示根据本文描述的实施方式与磁性夹持组件一起使用的有机材料的蒸发源；

图2示出根据本文描述的实施方式具有磁性夹持组件的沉积设备的示意性俯视图；

图3描绘根据一实施方式在基板载体中具有整合的静电夹盘的基板载体板的一个实施方式的分解图；

图4A描绘根据一实施方式具有电磁掩膜夹盘的夹持组件；以及

图4B至图4E描绘根据本文描述的实施方式可与夹持组件一起使用的电磁掩膜夹盘。

为了促进理解，在可能的情况下，相同元件符号已用于指代诸图共用的相同元件。应设想，一个实施方式中的元件和特征结构可有利地并入其他实施方式而无需赘述。

具体实施方式

本公开案一般涉及一种电磁掩膜夹盘。可将电磁掩膜夹盘整合至工艺腔室中或工艺腔室中所使用的基板载体中。通过纳入一系列电磁体，可以受控方式将掩膜和基板夹持至基板载体。