[实用新型]氯硅烷废液的净化回收装置

权利要求书

1.一种氯硅烷废液的净化回收装置，其特征在于，所述净化回收装置包括：

过滤单元，包括一个或多个并联设置的过滤器(2)，各所述过滤器(2)设置有氯硅烷废液入口(3)，所述氯硅烷废液通过各所述过滤器(2)后得到固体渣和过滤液，且所述过滤器(2)的底部设置有固体渣出口(5)，所述过滤器(2)的顶部设置有过滤液出口(12)；

提纯塔(7)，所述提纯塔(7)的入口与所述过滤液出口(12)相连通，所述过滤液通过所述提纯塔(7)后得到氯硅烷液体和提纯后残余液，所述提纯塔(7)的底部设置有提纯后残余液出口，所述提纯塔(7)的顶部设置有氯硅烷液体出口(8)，所述提纯后残余液出口与所述氯硅烷废液入口(3)相连通。

2.根据权利要求1所述的净化回收装置，其特征在于，每个所述过滤器(2)包括过滤器壳体(9)和设置于所述过滤器壳体(9)中的滤芯单元，所述滤芯单元包括多个滤芯(11)和设置于相邻所述滤芯(11)之间以及最外侧的所述滤芯(11)与所述过滤器壳体(9)之间的花盘(15)。

3.根据权利要求2所述的净化回收装置，其特征在于，所述滤芯(11)选自布袋、金属滤芯或陶瓷滤芯。

4.根据权利要求2所述的净化回收装置，其特征在于，各所述滤芯(11)依次等间距排列。

5.根据权利要求2所述的净化回收装置，其特征在于，每个所述过滤器(2)包括设置于所述滤芯(11)上方的反吹入口(10)，所述氯硅烷废液入口(3)设置于所述滤芯(11)的下方，所述净化回收装置还包括反吹瓶以及设置于所述反吹瓶和所述反吹入口(10)之间的反吹管道(1)。

6.根据权利要求5所述的净化回收装置，其特征在于，所述反吹瓶中盛有惰性气体或者氯硅烷。

7.根据权利要求1所述的净化回收装置，其特征在于，所述过滤液出口(12)和所述提纯塔(7)的入口之间设置有过滤液管道(6)，所述提纯后残余液出口与所述氯硅烷废液入口(3)之间设置有提纯后残余液管道(4)。

8.根据权利要求1所述的净化回收装置，其特征在于，所述提纯塔(7)为筛板塔。

9.根据权利要求1所述的净化回收装置，其特征在于，所述净化回收装置还包括设置于所述过滤单元的上游的氯硅烷废液储罐和废液输送泵。

10.根据权利要求9所述的净化回收装置，其特征在于，所述净化回收装置还包括设置于所述氯硅烷残液储罐和所述氯硅烷废液入口(3)之间的废液输送管道，且所述废液输送泵设置于所述废液输送管道中。