[实用新型]氯硅烷废液的净化回收装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及净化回收技术领域，具体而言，涉及一种氯硅烷废液的净化回收装置。

背景技术

在生产多晶硅过程中，会产生大量的副产物(一般为四氯化硅)。目前，90％以上的多晶硅生产企业均采用四氯化硅冷氢化技术来处理副产物，将其转化为生产多晶硅的原料三氯氢硅。四氯化硅冷氢化技术是将冶金级硅粉、氢气、四氯化硅在一定的温度、压力条件下，在催化剂作用下反应生成三氯氢硅。然而，冶金级硅粉中含有金属杂质，在四氯化硅氢化过程中容易引入细微的硅粉和金属杂质。在急冷塔或淋洗塔以及后续的氯硅烷粗馏过程中，为防止堵塞设备以及脱除金属杂质，这些细微硅粉和金属杂质将随四氯化硅液体由塔底排出，排出的这部分固液混合物即为残液。若此部分液体直接进行外排处理，一方面会造成四氯化硅原料的损失，更重要的是四氯化硅属于有毒物质，与空气或水接触后，形成酸雾，造成环境污染。

目前，回收氯硅烷残液的途径比较多，大部分均采用残液蒸发法，即通过外加热量，将氯硅烷从残液中蒸发出来，从而通过冷凝氯硅烷蒸汽实现液固分离。然而，采用蒸发法处理残液能耗较高，蒸汽消耗比较大，该方法需要通过机械搅拌提高热质交换效率，装置的密封性差，容易泄露，造成设备损坏和环境污染。此外，蒸发的氯硅烷蒸汽容易将微量的粉末和金属杂质带入后续的系统，造成分离不彻底。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供了一种氯硅烷废液的净化回收装置，以解决现有技术中氯硅烷的回收率较低的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种氯硅烷废液的净化回收装置，该净化回收装置包括：过滤单元，包括一个或多个并联设置的过滤器，各过滤器设置有氯硅烷废液入口，氯硅烷废液通过各过滤器后得到固体渣和过滤液，且过滤器的底部设置有固体渣出口，过滤器的顶部设置有过滤液出口；提纯塔，提纯塔的入口与过滤液出口相连通，过滤液通过提纯塔后得到氯硅烷液体和提纯后残余液，提纯塔的底部设置有提纯后残余液出口，提纯塔的顶部设置有氯硅烷液体出口，提纯后残余液出口与氯硅烷废液入口相连通。

进一步地，每个过滤器包括过滤器壳体和设置于过滤器壳体中的滤芯单元，滤芯单元包括多个滤芯和设置于相邻滤芯之间以及最外侧的滤芯与过滤器壳体之间的花盘。

进一步地，滤芯选自布袋、金属滤芯或陶瓷滤芯。

进一步地，各滤芯依次等间距排列。

进一步地，每个过滤器包括设置于滤芯上方的反吹入口，氯硅烷废液入口设置于滤芯的下方，净化回收装置还包括反吹瓶以及设置于反吹瓶和反吹入口之间的反吹管道。

进一步地，反吹瓶中盛有惰性气体或者氯硅烷。

进一步地，过滤液出口和提纯塔的入口之间设置有过滤液管道，提纯后残余液出口与氯硅烷废液入口之间设置有提纯后残余液管道。

进一步地，提纯塔为筛板塔。

进一步地，净化回收装置还包括设置于过滤单元的上游的氯硅烷废液储罐和废液输送泵。

进一步地，净化回收装置还包括设置于氯硅烷残液储罐和氯硅烷废液入口之间的废液输送管道，且废液输送泵设置于废液输送管道中。

应用本实用新型的技术方案，通过采用过滤器对氯硅烷废液进行预处理，将氯硅烷废液中的固含物大部分脱出得到过滤液，再利用提纯塔将滤液中未过滤掉的金属化合物和微量的粉尘得以除去，得到纯净的氯硅烷液体。整个系统操作、运行可靠，氯硅烷回收率高，纯度高，而且在节能降耗、环保方面有显著的效果。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了根据本实用新型的净化回收装置的剖面结构示意图；以及

图2示出了本实用新型的净化回收装置中的过滤器剖面结构示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。