[实用新型]一种温控设备的冷却控制系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及冷却控制系统，具体说是一种温控设备的冷却控制系统。

背景技术

目前在对半导体制程进行温度控制时，主要使用的是专用的温控设备，主要应用于ETCH(刻蚀)、PVD(物理气相沉积)、CVD(化学气相沉积)等半导体加工工艺过程。所述温控设备在工作时，多数采用厂务水冷却循环系统进行冷却。厂务水冷却循环系统通常是由厂务水供水设备提供恒温的厂务水，厂务水供水设备通过厂务水供水管连接板式换热器，流入板式换热器的厂务水对温控设备中流经负载的循环液进行冷却，冷却后温度升高的厂务水再通过厂务水回水管回到厂务水供水设备中进行降温，之后再通过厂务水供水管流入板式换热器，如此往复，实现对循环液的冷却。

现有的厂务水冷却循环系统针对温控设备负载的功率，会提供一恒定不变的流量，同时还需要温控设备本身也使用一功率不小于负载功率的加热器，以保证温控设备无论是处在空载状态还是加载状态都能够稳定运行。因此，在实际生产中，随着负载功率的增大，温控设备上的加热器功率也需相应增大。这就导致了以下问题的出现：

加热器功率的增大会导致整个温控设备的运转电流增大，在增加温控设备能耗的同时，也使温控设备的运行过程存在安全隐患；同时，增大加热器功率也需要增加其自身体积，导致整个温控设备体积变大，使温控设备在使用空间上受到限制。

实用新型内容

针对现有技术中存在的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种温控设备的冷却控制系统，通过控制调节厂务水流量，可以使用小功率加热器，实现对大功率负载的控制，避免因加热器功率过大而导致的温控设备运转电流、体积的增大，从而减小温控设备能耗，提高温控设备运行的安全稳定性，同时降低温控设备在使用空间上的限制。

为达到以上目的，本实用新型采取的技术方案是：

一种温控设备的冷却控制系统，包括厂务水供水设备1和板式换热器4，厂务水供水设备1和板式换热器4之间设有厂务水供水管2和厂务水回水管5，其特征在于：

至少在厂务水供水管2上设有用于控制厂务水流量的第一阀体3，

第一阀体3的控制信号线连接到温控设备控制器6，第一阀体3的状态由温控设备控制器6进行控制。

在上述技术方案的基础上，所述第一阀体3为两位两通电磁阀或电动两通阀。

在上述技术方案的基础上，所述第一阀体3为两位三通电磁阀或电动三通阀。

在上述技术方案的基础上，一段厂务水供水管连接厂务水供水设备出口和第一阀体3入口，另一段厂务水供水管连接第一阀体3出口和板式换热器入口，板式换热器出口连接厂务水回水管的一端，厂务水回水管的另一端连接厂务水供水设备入口。

在上述技术方案的基础上，当温控设备开始工作时，厂务水供水设备1也同时开始工作以提供恒温的厂务水，厂务水通过厂务水供水管2流入第一阀体3入口；

若第一阀体3为两位两通电磁阀，则：当两位两通电磁阀关闭时，厂务水不参与冷却；当两位两通电磁阀导通时，厂务水通过两位两通电磁阀出口流入板式换热器4，参与冷却以冷却循环液，流过板式换热器4的厂务水再经过厂务水回水管5流回厂务水供水设备1；

若第一阀体3为电动两通阀，则：当电动两通阀的开度减小时， 通过电动两通阀出口流向板式换热器4的厂务水流量也减小；当电动两通阀的开度增大时，通过电动两通阀出口流向板式换热器4的厂务水流量也增大，流过板式换热器4的厂务水再经过厂务水回水管5流回厂务水供水设备1。

在上述技术方案的基础上，若第一阀体3为两位两通电磁阀，则：两位两通电磁阀的状态由温控设备控制器6进行周期性控制，周期性调节流向板式换热器4的厂务水流量大小，每周期内第一阀体3关闭时间越长，冷却量越小，第一阀体3导通时间越长，冷却量越大；

若第一阀体3为电动两通阀，则：电动两通阀的状态由温控设备控制器6根据预先设定好的参数进行控制，第一阀体3的开度越小，冷却量越小；第一阀体3的开度越大，冷却量越大。

在上述技术方案的基础上，一段厂务水供水管连接厂务水供水设备出口和第一阀体3入口，另一段厂务水供水管连接第一阀体3出口和板式换热器入口，板式换热器出口连接厂务水回水管的一端，厂务水回水管的另一端连接厂务水供水设备入口；

在第一阀体3和厂务水供水设备1之间的厂务水供水管2上，设有分流支管，分流支管连接至厂务水回水管5，

分流支管上设有第二阀体7，所述第二阀体7为能够调节开度或快速进行通断控制的两通阀体。

在上述技术方案的基础上，第二阀体7可以为电磁阀、比例阀、节流阀、蝶阀、球阀或调节阀；