[实用新型]一种硅粉过滤装置

权利要求书

1.一种硅粉过滤装置，包括：过滤器本体、用于向过滤器本体输送介质气体的介质气体输送管线和用于从过滤器本体内输出介质气体的介质气体输出管线，过滤器本体包括过滤腔，介质气体输送管线与过滤腔的下部相连，其特征在于，过滤腔内设置有多个竖直放置的滤芯，滤芯呈中空的柱状，滤芯的硬度大于硅的硬度。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述滤芯为陶瓷滤芯。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，过滤腔内水平设置有花板，花板上设置有多个通孔，所述滤芯分别固设在通孔内。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，过滤器本体还包括进出气腔，进出气腔设置在过滤腔的顶部，并与过滤腔相连通，介质气体输出管线与进出气腔的顶部相连；

所述装置还包括用于输送清洁介质的清洁管线，清洁管线与进出气腔相连，清洁介质能够进入滤芯的内部，并将附着在滤芯的外表面上的硅粉从滤芯的外表面分离。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，清洁管线与进出气腔的顶部相连。

6.如权利要求4所述的装置，其特征在于，清洁介质为气体或液体，当清洁介质为气体时，所述气体的压力为0.2-0.3MPa。

7.如权利要求4所述的装置，其特征在于，气体为氮气、氢气或空气。

8.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述装置还包括用于检测进出气腔与过滤腔内压力差的压差表，压差表的一端与进出气腔相连通，另一端与过滤腔相连通。

9.如权利要求4-8任一项所述的装置，其特征在于，过滤器本体还包括用于收集从滤芯的外表面上掉落的硅粉的回收腔，回收腔设置于过滤腔的底部，并与过滤腔相连通。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述装置还包括硅粉回收管线，硅粉回收管线与回收腔的底部相连。