[实用新型]一种硅粉过滤装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅冷氢化技术领域，特别是涉及一种硅粉过滤装置。

背景技术

多晶硅生产的三氯氢硅合成和四氯化硅低温氢化工序均以硅粉为原料，因此都会涉及硅粉的输送问题。硅粉输送一般采用气体输送方式，在输送气体外排的过程中，会有大量的微硅粉飘逸在输送气体中随输送气体一起排出。若不对外排的输送气体进行过滤，不仅会造成微硅粉飘至周围大气中，造成环境污染，危害现场操作人员的身体健康，还会浪费大量的硅粉原料，增加生产成本。

目前多晶硅生产中主要采用袋式过滤器对输送气体进行过滤。袋式过滤器是一种压力式过滤装置，包括过滤器本体和滤袋，过滤器本体内部设置金属网篮以支撑滤袋，滤袋材质一般为无纺布。介质气体由入口进入过滤器本体内的滤袋，经滤袋过滤后流出，介质气体内的杂质被拦截在滤袋中，更换滤袋后可继续使用。

采用袋式过滤器过滤介质气体内的固体颗粒时，由于固体颗粒有棱角、硬度高，而且介质气体流速较大，因此，极易磨损滤袋，大大缩短滤袋的使用寿命，而频繁更换滤袋也增加了维护成本。通常，在使用袋式过滤器过滤氢气或氮气中的硅粉时，袋式过滤器使用不足2周就会出现因滤袋受损产生泄漏的现象，大量硅粉通过漏点随氢气或氮气排出，一方面，对环境造成很大污染，另一方面，频繁更换滤袋不但增加成本，还影响多晶硅的生产进度。

因此，亟需一种硅粉过滤装置以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中存在的上述不足，提供一种硅粉过滤装置，用以解决现有的滤袋式过滤器使用寿命短、维护成本高、影响多晶硅的生产进度的问题。

本实用新型为解决上述技术问题，采用如下技术方案：

本实用新型提供一种硅粉过滤装置，包括：过滤器本体、用于向过滤器本体输送介质气体的介质气体输送管线和用于从过滤器本体内输出介质气体的介质气体输出管线，过滤器本体包括过滤腔，介质气体输送管线与过滤腔的下部相连，过滤腔内设置有多个竖直放置的滤芯，滤芯呈中空的柱状，滤芯的硬度大于硅的硬度。

优选的，所述滤芯为陶瓷滤芯。

优选的，过滤腔内水平设置有花板，花板上设置有多个通孔，所述滤芯分别固设在通孔内。

进一步的，过滤器本体还包括进出气腔，进出气腔设置在过滤腔的顶部，并与过滤腔相连通，介质气体输出管线与进出气腔的顶部相连；

所述装置还包括用于输送清洁介质的清洁管线，清洁管线与进出气腔相连，清洁介质能够进入滤芯的内部，并将附着在滤芯的外表面上的硅粉从滤芯的外表面分离。

优选的，清洁管线与进出气腔的顶部相连。

优选的，清洁介质为气体或液体，当清洁介质为气体时，所述气体的压力为0.2-0.3MPa。

优选的，气体为氮气、氢气或空气。

进一步的，所述装置还包括用于检测进出气腔与过滤腔内压力差的压差表，压差表的一端与进出气腔相连通，另一端与过滤腔相连通。

进一步的，过滤器本体还包括用于收集从滤芯的外表面上掉落的硅粉的回收腔，回收腔设置于过滤腔的底部，并与过滤腔相连通。

进一步的，所述装置还包括硅粉回收管线，硅粉回收管线与回收腔的底部相连。

本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型通过在过滤器本体的过滤腔内设置多个竖直放置的、呈中空状的滤芯，并选用硬度大于硅的硬度的材质的滤芯，能够延长硅粉过滤装置的使用寿命，降低滤芯的更换频率和维护成本，并加快多晶硅的生产进度。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的硅粉过滤装置的结构示意图。

图例说明：

1、过滤本体     2、介质气体输送管线    3、介质气体输出管线

4、滤芯         5、花板                6、清洁管线

7、压差表       8、硅粉回收管线        11、过滤腔

12、进出气腔    13、回收腔

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。