[实用新型]一种平面阴极溅射挡板有效
| 申请号： | 201520392902.4 | 申请日： | 2015-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN204999964U | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 董清世;周枫;蔡法清;高昌龙 | 申请（专利权）人： | 信义节能玻璃（芜湖）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C03C17/00 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 彭家恩;彭愿洁 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平面 阴极 溅射 挡板 | ||
【权利要求书】：
1.一种平面阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述第一阴极挡板本体与所述第二阴极挡板本体之间具有一个开口部位，其特征在于，所述第一阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第一挡板，所述第二阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第二挡板，所述第一挡板与所述第二挡板之间能够相向滑动或者相背滑动，所述第一挡板与所述第二挡板之间相向滑动时将所述开口部位部分封盖；所述第一挡板伸向所述开口部位的伸出部位为圆角，所述第二挡板伸向所述开口部位的伸出部位为圆角。
2.根据权利要求1所述的平面阴极溅射挡板，其特征在于，所述第一阴极挡板本体与所述第一挡板之间在平面方向的可调节距离范围至少包括0mm-20mm，所述第二阴极挡板本体与所述第二挡板之间在平面方向的可调节距离范围至少包括0mm-20mm。
3.根据权利要求1所述的平面阴极溅射挡板，其特征在于，所述第一挡板和所述第二挡板的形状均为三角形，并且三角形的第一挡板和第二挡板的一个角为所述伸出部位，呈圆角。
4.根据权利要求1所述的平面阴极溅射挡板，其特征在于，所述第一挡板和所述第二挡板的形状均为梯形，并且梯形的第一挡板和第二挡板的顶部为所述伸出部位，所述顶部的两个顶角呈圆角。
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