[实用新型]一种平面阴极溅射挡板

说明书

技术领域

本实用新型涉及玻璃制造行业，更具体地说，涉及一种平面阴极溅射挡板。

背景技术

大面积连续镀膜线上的平面阴极使用频率很高，但随着使用的时间延长，平面阴极内部的磁场会产生变化，或者由于一些其它因素的影响，都会造成平面阴极局部均匀性差的问题产生。虽然在生产中可以借助气体对均匀性进行调整，但是调整的范围有限，起不到实质性作用。

实用新型内容

本实用新型提供一种解决上述均匀性的技术问题的平面阴极溅射挡板。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种平面阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述第一阴极挡板本体与所述第二阴极挡板本体之间具有一个开口部位，所述第一阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第一挡板，所述第二阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第二挡板，所述第一挡板与所述第二挡板之间能够相向滑动或者相背滑动，所述第一挡板与所述第二挡板之间相向滑动时将所述开口部位部分封盖；所述第一挡板伸向所述开口部位的伸出部位为圆角，所述第二挡板伸向所述开口部位的伸出部位为圆角。

优选地，所述第一阴极挡板本体与所述第一挡板之间在平面方向的可调节距离范围至少包括0mm-20mm，所述第二阴极挡板本体与所述第二挡板之间在平面方向的可调节距离范围至少包括0mm-20mm。

优选地，所述第一挡板和所述第二挡板的形状均为三角形，并且三角形的第一挡板和第二挡板的一个角为所述伸出部位，呈圆角。

优选地，所述第一挡板和所述第二挡板的形状均为梯形，并且梯形的第一挡板和第二挡板的顶部为所述伸出部位，所述顶部的两个顶角呈圆角。

本实用新型的有益效果体现在：通过在原来不可调的平面阴极溅射挡板的开口部位加设一对相互之间距离可调节的挡板，可以根据平面阴极局部均匀性差异来调节挡板的开口宽度，从而使平面阴极的均匀性达到生产要求。尤其是，所述第一挡板伸向所述开口部位的伸出部位以及所述第二挡板伸向所述开口部位的伸出部位均为圆角，能够保证在溅射过程中不发生放电现象。

附图说明

图1为本实用新型一个实施例的平面阴极溅射挡板的正视图；

图2为本实用新型一个实施例的平面阴极溅射挡板的横截面结构示意图。

图中：1-第一阴极挡板本体；2-第二阴极挡板本体；3-第一挡板；4-第二挡板。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

请参考图1和图2，本实用新型一个实施例的平面阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体1和第二阴极挡板本体2，第一阴极挡板本体1与第二阴极挡板本体2之间具有一个开口部位，第一阴极挡板本体1上设置有与第一阴极挡板本体1平行且能够沿第一阴极挡板本体1表面滑动的第一挡板3，第二阴极挡板本体2上设置有与第二阴极挡板本体2平行且能够沿第二阴极挡板本体2表面滑动的第二挡板4，第一挡板3与第二挡板4之间能够相向滑动或者相背滑动，第一挡板3与第二挡板4之间相向滑动时将开口部位部分封盖；第一挡板3伸向开口部位的伸出部位为圆角，第二挡板4伸向开口部位的伸出部位为圆角。

本实施例中，第一挡板3和第二挡板4的形状均为三角形，并且三角形的第一挡板3和第二挡板4的一个角为伸出部位，呈圆角。

当然，第一挡板3和第二挡板4的形状，根据具体需要也可以是其他形状，只要是第一挡板3和第二挡板4的伸出部位具有圆角即可。例如，第一挡板3和第二挡板4的形状均为梯形，并且梯形的第一挡板3和第二挡板4的顶部为上述伸出部位，上述顶部的两个顶角呈圆角。

第一挡板3和第二挡板4的伸出部位呈圆角的特征，对于溅射时放电现象的控制至关重要。发明人发现，如果第一挡板3和第二挡板4的伸出部位呈尖角，溅射时容易发生放电现象，而圆角的伸出部位能够有效避免放电现象。

需要说明的是，只要第一挡板3和第二挡板4的伸出部位呈圆角，挡板的具体形状不限，可根据平面阴极均匀性自行设计；并且第一挡板3和第二挡板4的位置可根据平面阴极均匀性进行设定。