[实用新型]一种石英埚装硅料辅助工具有效
申请号: | 201520397192.4 | 申请日: | 2015-06-10 |
公开(公告)号: | CN204752896U | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 王东;张浩强;张鹏;闫广宁;王怡然;李永峰;赵飞 | 申请(专利权)人: | 河北宁晋松宫半导体有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 埚装硅料 辅助工具 | ||
1.一种石英埚装硅料辅助工具,其特征在于:包括用来靠在石英埚外壁的竖直靠板(1),与竖直靠板(1)相配合、用来靠在石英埚埚沿上、宽度与石英埚壁厚相等的水平靠板(2),设置在水平靠板(2)上方、其内沿位置对应于石英埚内壁位置的竖直界限板(3),设置在竖直界限板(3)对面、其内沿位置对应于导流筒的位置的倾斜界限板(4),以及连接竖直界限板(3)和倾斜界限板(4)的水平连接板(5),水平连接板(5)的内沿位置对应于石英埚内硅料的最高位置。
2.根据权利要求1所述的石英埚装硅料辅助工具,其特征在于:竖直靠板(1)、水平靠板(2)、竖直界限板(3)、倾斜界限板(4)和水平连接板(5)为一个整体。
3.根据权利要求1或2所述的石英埚装硅料辅助工具,其特征在于:设置有方便拿取该石英埚装硅料辅助工具的把手(6)。
4.根据权利要求3所述的石英埚装硅料辅助工具,其特征在于:把手(6)设置在竖直靠板(1)、水平靠板(2)和竖直界限板(3)三者连接的位置外侧。
5.根据权利要求4所述的石英埚装硅料辅助工具,其特征在于:把手(6)为平板状。
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