[实用新型]一种石英埚装硅料辅助工具有效

专利信息
申请号: 201520397192.4 申请日: 2015-06-10
公开(公告)号: CN204752896U 公开(公告)日: 2015-11-11
发明(设计)人: 王东;张浩强;张鹏;闫广宁;王怡然;李永峰;赵飞 申请(专利权)人: 河北宁晋松宫半导体有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 河北东尚律师事务所 13124 代理人: 王文庆
地址: 055550 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英 埚装硅料 辅助工具
【权利要求书】:

1.一种石英埚装硅料辅助工具,其特征在于:包括用来靠在石英埚外壁的竖直靠板(1),与竖直靠板(1)相配合、用来靠在石英埚埚沿上、宽度与石英埚壁厚相等的水平靠板(2),设置在水平靠板(2)上方、其内沿位置对应于石英埚内壁位置的竖直界限板(3),设置在竖直界限板(3)对面、其内沿位置对应于导流筒的位置的倾斜界限板(4),以及连接竖直界限板(3)和倾斜界限板(4)的水平连接板(5),水平连接板(5)的内沿位置对应于石英埚内硅料的最高位置。

2.根据权利要求1所述的石英埚装硅料辅助工具,其特征在于:竖直靠板(1)、水平靠板(2)、竖直界限板(3)、倾斜界限板(4)和水平连接板(5)为一个整体。

3.根据权利要求1或2所述的石英埚装硅料辅助工具,其特征在于:设置有方便拿取该石英埚装硅料辅助工具的把手(6)。

4.根据权利要求3所述的石英埚装硅料辅助工具,其特征在于:把手(6)设置在竖直靠板(1)、水平靠板(2)和竖直界限板(3)三者连接的位置外侧。

5.根据权利要求4所述的石英埚装硅料辅助工具,其特征在于:把手(6)为平板状。

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