[实用新型]一种石英埚装硅料辅助工具有效
申请号: | 201520397192.4 | 申请日: | 2015-06-10 |
公开(公告)号: | CN204752896U | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 王东;张浩强;张鹏;闫广宁;王怡然;李永峰;赵飞 | 申请(专利权)人: | 河北宁晋松宫半导体有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 埚装硅料 辅助工具 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种石英埚装硅料辅助工具,应用于直拉单晶技术领域。
背景技术
在直拉单晶工艺中,为了提高石英埚利用率,尽可能提高石英埚装硅料的装加量,使得石英埚中装加的硅料会有一部分从石英埚埚口突出来。而这样做,当把石英埚放入热场对硅料进行加热融化时,就增加了硅料与石墨导流筒接触的可能性。这会影响单晶的品质,同时增大拉晶作业的难度。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:提供一种石英埚装硅料辅助工具,避免石英埚装加的硅料在热场中加热时与石墨导流筒的接触。
为了解决上述技术问题,本实用新型所采取的技术方案是:
一种石英埚装硅料辅助工具,包括用来靠在石英埚外壁的竖直靠板,与竖直靠板相配合、用来靠在石英埚埚沿上、宽度与石英埚壁厚相等的水平靠板,设置在水平靠板上方、其内沿位置对应于石英埚内壁位置的竖直界限板,设置在竖直界限板对面、其内沿位置对应于导流筒的位置的倾斜界限板,以及连接竖直界限板和倾斜界限板的水平连接板,水平连接板的内沿位置对应于石英埚内硅料的最高位置。
竖直靠板、水平靠板、竖直界限板、倾斜界限板和水平连接板为一个整体。
设置有方便拿取该石英埚装硅料辅助工具的把手。
把手设置在竖直靠板、水平靠板和竖直界限板三者连接的位置外侧。
把手为平板状。
本实用新型所取得的有益效果:
在对石英埚装加硅料时,把该辅助工具的竖直靠板靠在石英埚外壁,把水平靠板靠在石英埚埚沿,把整个辅助工具放置在石英埚的直径位置,然后围绕石英埚的中心轴线旋转,竖直界限板、倾斜界限板和水平连接板的内沿所扫描出来的空间就限定了硅料在石英埚中的装加范围。按照这个范围装加的硅料,在把石英埚放入热场进行加热融化时,就不会接触石墨导流筒。
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细说明。
附图说明
图1为本实用新型的构造示意图;
图2为图1的右视构造示意图。
具体实施方式
如图1、图2所示,一种石英埚装硅料辅助工具,包括用来靠在石英埚外壁的竖直靠板1,与竖直靠板1相配合、用来靠在石英埚埚沿上、宽度与石英埚壁厚相等的水平靠板2,设置在水平靠板2上方、其内沿位置对应于石英埚内壁位置的竖直界限板3,设置在竖直界限板3对面、其内沿位置对应于导流筒的位置的倾斜界限板4,以及连接竖直界限板3和倾斜界限板4的水平连接板5,水平连接板5的内沿位置对应于石英埚内硅料的最高位置。
竖直靠板1、水平靠板2、竖直界限板3、倾斜界限板4和水平连接板5为一个整体。
设置有方便拿取该石英埚装硅料辅助工具的把手6。
把手6设置在竖直靠板1、水平靠板2和竖直界限板3三者连接的位置外侧。
把手6为平板状。
在对石英埚装加硅料时,把该辅助工具的竖直靠板1靠在石英埚外壁,把水平靠板2靠在石英埚埚沿,把整个辅助工具放置在石英埚的直径位置,然后围绕石英埚的中心轴线旋转,竖直界限板3、倾斜界限板4和水平连接板5的内沿所扫描出来的空间就限定了硅料在石英埚中的装加范围。按照这个范围装加的硅料,在把石英埚放入热场进行加热融化时,就不会接触石墨导流筒。
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