[实用新型]一种直拉单晶回收料的超声波清洗装置有效

专利信息
申请号: 201520399525.7 申请日: 2015-06-10
公开(公告)号: CN204724536U 公开(公告)日: 2015-10-28
发明(设计)人: 张玉亮;张浩强;张冰蕾;张建中;邓青超;李梅娟;张永亮;王青涛 申请(专利权)人: 河北宁晋松宫半导体有限公司
主分类号: B08B3/12 分类号: B08B3/12;B08B3/10
代理公司: 河北东尚律师事务所 13124 代理人: 王文庆
地址: 055550 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 直拉单晶 回收 超声波 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种直拉单晶回收料的超声波清洗装置,包括清洗槽(1)、超声振子(2)和超声波发生器,其特征在于:清洗槽(1)由清洗部(1-1)和加热部(1-2)组成,加热部(1-2)设置在清洗槽(1)底部的右侧,并且向清洗槽(1)的外部凸出,加热管(4)安装在加热部(1-2);清洗部(1-1)的工作面(1-1-1)是一个倾斜设置的平面,设置在清洗部(1-1)的左侧,在其背面固定装有多个超声振子(2)。

2.根据权利要求1所述的直拉单晶回收料的超声波清洗装置,其特征在于:清洗部(1-1)的底部形状为工作面(1-1-1)和另一倾斜面(1-1-2)组成的角形,排污阀门(5)设置在清洗部(1-1)的底部。

3.根据权利要求2所述的直拉单晶回收料的超声波清洗装置,其特征在于:在倾斜面(1-1-2)的背面也固定装有多个超声振子(2)。

4.根据权利要求3所述的直拉单晶回收料的超声波清洗装置,其特征在于:超声振子(2)在工作面(1-1-1)和倾斜面(1-1-2)的背面的设置成排成列,每一排超声振子(2)都水平设置,每一列超声振子(2)都相对于一排超声振子(2)垂直布置;在工作面(1-1-1)的背面布满超声振子(2),在倾斜面(1-1-2)的背面只设置一排超声振子(2),且该一排超声振子(2)设置在倾斜面(1-1-2)的背面靠近清洗部(1-1)的底部的位置。

5.根据权利要求4所述的直拉单晶回收料的超声波清洗装置,其特征在于:工作面(1-1-1)和倾斜面(1-1-2)相互垂直。

6.根据权利要求5所述的直拉单晶回收料的超声波清洗装置,其特征在于:清洗部(1-1)的前后两面竖直设置,在前后两面的背面靠近工作面(1-1-1)的部位也都设置有一列超声振子(2)。

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