[实用新型]一种直拉单晶回收料的超声波清洗装置有效
申请号: | 201520399525.7 | 申请日: | 2015-06-10 |
公开(公告)号: | CN204724536U | 公开(公告)日: | 2015-10-28 |
发明(设计)人: | 张玉亮;张浩强;张冰蕾;张建中;邓青超;李梅娟;张永亮;王青涛 | 申请(专利权)人: | 河北宁晋松宫半导体有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B3/10 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直拉单晶 回收 超声波 清洗 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种超声波清洗装置,尤其是一种直拉单晶回收料的超声波清洗装置。
背景技术
直拉单晶工艺,拉制的单晶为横截面为圆形的棒体,通过截断、开方才能做成后续要求的直角方棒或圆角方棒。每一段圆棒单晶经过开方后都会产生长度相同的4块边角料,边角料无法直接回收投炉,因为其表面粘有大量的砂浆、胶类杂质。对于这种直拉单晶回收料的清洗,不管是采用酸洗(硝酸、氢氟酸)、碱洗(氢氧化钠)、还是采用其他化学试剂的清洗方法,其化学物质的残留均会对硅料的外观质量产生不利影响。超声波清洗装置适合于去除这种化学清洗产生的化学物质残留,所以需要提供一种专用于直拉单晶回收料的超声波清洗装置。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:提供一种专用于直拉单晶回收料的超声波清洗装置。
为了解决上述技术问题,本实用新型所采取的技术方案是:
一种直拉单晶回收料的超声波清洗装置,包括清洗槽、超声振子和超声波发生器,清洗槽由清洗部和加热部组成,加热部设置在清洗槽底部的右侧,并且向清洗槽的外部凸出,加热管安装在加热部;清洗部的工作面是一个倾斜设置的平面,设置在清洗部的左侧,在其背面固定装有多个超声振子。
清洗部的底部形状为工作面和另一倾斜面组成的角形,排污阀门设置在清洗部的底部。
在倾斜面的背面也固定装有多个超声振子。
超声振子在工作面和倾斜面的背面的设置成排成列,每一排超声振子都水平设置,每一列超声振子都相对于一排超声振子垂直布置;在工作面的背面布满超声振子,在倾斜面的背面只设置一排超声振子,且该一排超声振子设置在倾斜面的背面靠近清洗部的底部的位置。
工作面和倾斜面相互垂直。
清洗部的前后两面竖直设置,在前后两面的背面靠近工作面的部位也都设置有一列超声振子。
本实用新型所取得的有益效果:
清洗槽内设置加热部,提高超声波清洗的质量;加热管藏在向清洗槽的外部凸出的加热部,避免清洗部清洗直拉单晶回收料时直拉单晶回收料对加热管的破坏;清洗部的工作面倾斜设置,便于把直拉单晶回收料在清洗部工作面上的排布,提高超声波清洗质量。
清洗部的底部呈角形,便于清洗污垢的集聚和排放。
在与工作面相垂直的倾斜面背面也设置超声振子,对工作面背面超声振子所产生的超声波进行正交干涉,提高超声波清洗质量。
在清洗部的前后两面的背面也设置超声振子,进一步提高超声波清洗质量。
由于直拉单晶回收料排列在工作面上,而且排列厚度较小,所以在倾斜面和前后两面的背面的超声振子设置也只需要一排或一列。
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细说明。
附图说明
图1为本实用新型中清洗槽的构造示意图。
图中:1.清洗槽;1-1-清洗部;1-1-1-工作面;1-1-2-倾斜面;1-2-加热部;2.超声振子;4.加热管;5.排污阀门。
具体实施方式
如图1所示,一种直拉单晶回收料的超声波清洗装置,包括清洗槽1、超声振子2和超声波发生器,清洗槽1由清洗部1-1和加热部1-2组成,加热部1-2设置在清洗槽1底部的右侧,并且向清洗槽1的外部凸出,加热管4安装在加热部1-2;清洗部1-1的工作面1-1-1是一个倾斜设置的平面,设置在清洗部1-1的左侧,在其背面固定装有多个超声振子2。
清洗部1-1的底部形状为工作面1-1-1和另一倾斜面1-1-2组成的角形,排污阀门5设置在清洗部1-1的底部。
在倾斜面1-1-2的背面也固定装有多个超声振子2。
超声振子2在工作面1-1-1和倾斜面1-1-2的背面的设置成排成列,每一排超声振子2都水平设置,每一列超声振子2都相对于一排超声振子2垂直布置;在工作面1-1-1的背面布满超声振子2,在倾斜面1-1-2的背面只设置一排超声振子2,且该一排超声振子2设置在倾斜面1-1-2的背面靠近清洗部1-1的底部的位置。
工作面1-1-1和倾斜面1-1-2相互垂直。
清洗部1-1的前后两面竖直设置,在前后两面的背面靠近工作面1-1-1的部位也都设置有一列超声振子2。
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