[实用新型]一种PECVD射频系统进电组件有效
| 申请号： | 201520409287.3 | 申请日： | 2015-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN204792697U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 陆亮亮;郭必玉;田振超 | 申请（专利权）人： | 江苏武进汉能光伏有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/205 | 分类号： | H01L21/205;H01R11/01 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 徐琳淞 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 射频 系统 组件 | ||
【权利要求书】：
1.一种PECVD射频系统进电组件，具有本体(1)；其特征在于：所述本体(1)包括紫铜镀锡编织网(2)、铜线(3)和不锈钢接头(4)，所述铜线(3)一端套接在紫铜镀锡编织网(2)的内径孔里，其另一端通过不锈钢接头(4)封闭连接。
2.根据权利要求1所述的一种PECVD射频系统进电组件，其特征在于：所述铜线(3)通过四氟管(5)插接在所述紫铜镀锡编织网(2)内。
3.根据权利要求1所述的一种PECVD射频系统进电组件，其特征在于：所述紫铜镀锡编织网(2)的每根丝的端面面积为6平方毫米。
4.根据权利要求2所述的一种PECVD射频系统进电组件，其特征在于：所述四氟管(5)分别由4*6规格的四氟管、6*8规格的四氟管和8*10规格的四氟管依次套接。
5.根据权利要求1所述的一种PECVD射频系统进电组件，其特征在于：所述铜线(3)的规格为10平方毫米。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
