[实用新型]一种真空镀膜机的真空炉有效

专利信息
申请号: 201520413483.8 申请日: 2015-06-16
公开(公告)号: CN204779781U 公开(公告)日: 2015-11-18
发明(设计)人: 肖桥兵 申请(专利权)人: 广东易能纳米科技有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 代理人: 何树良
地址: 523000 广东省东莞市松山湖高*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 真空炉
【权利要求书】:

1.一种真空镀膜机的真空炉,包括炉体(1)和炉门,所述炉体(1)内设置有工件挂架(2),其特征在于:所述工件挂架(2)包括基座(21)及设置于基座(21)的转轴(22),所述转轴(22)的上部设置有至少一个支架(23),所述支架(23)设置有用于承载工件的辅助机构(24),还包括用于驱动所述转轴(22)转动的电机(3),所述炉体(1)的底部设置有一通孔,所述通孔内设有密封件(4),所述电机(3)的电机轴穿过所述通孔和密封件(4)且与转轴(22)驱动连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的真空炉,其特征在于:所述炉门的一端与炉体(1)的一端铰接,所述炉门的另一端与炉体(1)的另一端之间通过锁扣连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的真空炉,其特征在于:所述炉门设置有观察口。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的真空炉,其特征在于:所述支架(23)包括与转轴(22)滑动连接的固定环(231),所述固定环(231)设有若干个伸出臂(232),所述辅助机构(24)设置于伸出臂(232)外端,所述固定环(231)还设置有用于抵接转轴(22)的固定螺栓(233)。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机的真空炉,其特征在于:所述转轴(22)还设置有供所述固定螺栓(233)伸入的固定槽(221)。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的真空炉,其特征在于:所述辅助机构(24)为挂钩。

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