[实用新型]一种纳米材料真空镀膜机

权利要求书

1.一种纳米材料真空镀膜机，其特征在于：包括用于将纳米镀膜材料蒸发成气体的蒸发炉（1）、对气体进行裂解反应的裂解炉（2）以及对产品进行镀膜的镀膜装置，所述镀膜装置包括真空炉（3）、对真空炉（3）内进行抽真空的真空泵（4）以及对真空炉（3）内进行加压的加压泵，所述真空炉（3）分别通过管道与真空泵（4）和加压泵连接，所述蒸发炉（1）、裂解炉（2）和真空炉（3）之间通过管道连通，所述裂解炉（2）和真空炉（3）之间还设置有气动阀（6）。

2.根据权利要求1所述的一种纳米材料真空镀膜机，其特征在于：所述蒸发炉包括蒸发炉体（11）和密封门（12），所述蒸发炉体（11）内设置有蒸发室（13），所述蒸发室内设置有内加热板（14），所述内加热板（14）包括板体，所述板体内设置有加热丝（15）和第一冷凝管（16），所述蒸发炉体（11）的外表面设置有外层加热板（17）。

3.根据权利要求2所述的一种纳米材料真空镀膜机，其特征在于：所述板体由底板（141）和盖板（142）组成，所述盖板（142）设置有若干个相互平行的第一槽位（1421），相邻的两个第一槽位（1421）之间通过第一圆弧槽（1422）连通，若干个所述第一槽位（1421）和若干个所述第一圆弧槽（1422）内均设置有加热丝（15）；所述底板（141）设置有若干个相互平行的第二槽位（1411），相邻的两个第二槽位（1411）之间通过第二圆弧槽（1412）连通，若干个所述第二槽位（1411）和若干个所述第二圆弧槽（1412）内均设置有第一冷凝管（16）。

4.根据权利要求3所述的一种纳米材料真空镀膜机，其特征在于：所述底板（141）和盖板（142）均为铝合金板。

5.根据权利要求1所述的一种纳米材料真空镀膜机，其特征在于：所述裂解炉（2）包括第一管体（21），所述第一管体（21）内设置有裂解室（22），所述第一管体（21）的外部设置有加热层（23），所述加热层（23）的外部设置有保温层（24）。

6.根据权利要求1所述的一种纳米材料真空镀膜机，其特征在于：所述气动阀（6）包括阀体（61），所述阀体（61）的底部设置有进气口（62），所述阀体（61）内设置有控制进气口（62）打开或关闭的阀盖（63），所述阀体（61）的外部设置有气缸（64），所述阀体（61）的上盖板设置有一通孔，所述通孔内设置有轴套（65），所述轴套（65）内设置有第一密封件（66），所述气缸（64）的活塞杆（641）穿过轴套（65）和第一密封件（66），活塞杆（641）伸入阀体（61）内与阀盖（63）固定连接，所述活塞杆（641）的底端设置有压环（67），所述压环（67）与阀盖（63）固定连接，所述活塞杆（641）的外壁套设有波纹管（68）。

7.根据权利要求1所述的一种纳米材料真空镀膜机，其特征在于：所述真空炉（3）包括真空炉体（31）和炉门，所述真空炉体（31）内设置有工件挂架（32），还包括用于驱动所述工件挂架（32）转动的电机（33），所述真空炉体（31）的底部设置有一通孔，所述通孔内设有第二密封件（34），所述电机（33）的电机轴穿过所述通孔和第二密封件（34）与工件挂架（32）驱动连接。

8.根据权利要求1所述的一种纳米材料真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜装置还包括有冷凝回收装置（7），所述冷凝回收装置（7）包括第二管体（71），第二管体（71）的右端密封，第二管体（71）开设有材料入口（72）和气体出口（73），所述材料入口（72）通过管道与真空炉（3）连通，所述气体出口（73）通过管道与真空泵（4）连通，还包括冷凝器，冷凝器包括设置于第二管体（71）内部的第二冷凝管（74）、与第二冷凝管（74）的左端固定连接的冷凝端盖（75），冷凝端盖（75）的右壁面与第二管体（71）的左端可拆卸连接，所述第二冷凝管（71）的管体设置有螺纹结构。

9.根据权利要求8所述的一种纳米材料真空镀膜机，其特征在于：所述冷凝器还包括与冷凝端盖（75）的左壁面固定连接的柱状体（76），柱状体（76）开设有深冷接头（77）,深冷接头（77）设置有冷却水入口和回流水出口。