[实用新型]一种纳米材料真空镀膜机

说明书

技术领域

本实用新型涉及纳米镀膜设备技术领域，尤其涉及一种纳米材料真空镀膜机。

背景技术

纳米防水镀膜技术广泛用于航空航天军工、电路板、磁性材料、传感器、硅橡胶、密封件、医疗器械、珍贵文物、小家电（豆浆机、电饭锅、电磁炉、剃须刀、遥控器、空调扇、空调、微波炉等、音响）、数码（手机、相机、笔记本、平板、耳机、）、卫浴、蓄电池、汽车（电子钥匙、倒车雷达、充电桩）等领域；能在金、银、钨、钴、钯等不同金属表面形成2-10nm厚度左右的镀层，从而使金属表面具有良好的耐磨性、防水、导电性能、耐腐蚀、耐高温、防氧化及改变表面张力等特性，从而提升材料性能，可以全面的改善产品品质。

现有的镀膜机具有以下缺陷：1.气密性不强，影响真空效果，抽真空效果不好，生产效率低；且影响镀膜效果，制得的成品良品率低；2.镀膜效果差，薄膜容易从产品上脱落；3.设备机构负责，不便维修；4.只能适用于一些金属镀膜材料，易生成有害气体。

发明内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足提供一种纳米材料真空镀膜机，本实用新型结构简单、紧凑，密封性强，镀膜效果好，薄膜不宜脱落，镀膜材料采用纳米材料不会生产有害气体。

本实用新型是通过以下技术方案来实现的，一种纳米材料真空镀膜机，包括用于将镀膜材料蒸发成气体的蒸发炉、对气体进行裂解反应的裂解炉以及对产品进行镀膜的镀膜装置，所述镀膜装置包括真空炉、对真空炉内进行抽真空的真空泵以及对真空炉内进行加压的加压泵，所述真空炉分别通过管道与真空泵和加压泵连接，所述蒸发炉、裂解炉和真空炉之间通过管道连通，所述裂解炉和真空炉之间还设置有气动阀。

作为优选，所述蒸发炉包括蒸发炉体和密封门，所述蒸发炉体内设置有蒸发室，所述蒸发室内设置有内加热板，所述内加热板包括板体，所述板体内设置有加热丝和第一冷凝管，所述蒸发炉体的外表面设置有外层加热板。

作为优选，所述内加热板包括板体，所述板体由底板和盖板组成，所述盖板设置有若干个相互平行的第一槽位，相邻的两个第一槽位之间通过第一圆弧槽连通，若干个所述第一槽位和若干个所述第一圆弧槽内均设置有加热丝；所述底板设置有若干个相互平行的第二槽位，相邻的两个第二槽位之间通过第二圆弧槽连通，若干个所述第二槽位和若干个所述第二圆弧槽内均设置有第一冷凝管。

作为优选，所述底板和盖板均为铝合金板。

作为优选，所述裂解炉包括第一管体，所述第一管体内设置有裂解室，所述第一管体的外部设置有加热层，所述加热层的外部设置有保温层。

作为优选，所述气动阀包括阀体，所述阀体的底部设置有进气口，所述阀体内设置有控制进气口打开或关闭的阀盖，所述阀体的外部设置有气缸，所述阀体的上盖板设置有一通孔，所述通孔内设置有轴套，所述轴套内设置有第一密封件，所述气缸的活塞杆依次穿过轴套和第一密封件，并延伸至阀体内与阀盖固定连接，所述活塞杆的底端设置有压环，所述压环与阀盖固定连接，所述活塞杆的外壁套设有波纹管。

作为优选，所述真空炉包括真空炉体和炉门，所述真空炉体内设置有工件挂架，还包括用于驱动所述工件挂架转动的电机，所述真空炉体的底部设置有一通孔，所述通孔内设有第二密封件，所述电机的电机轴穿过所述通孔和第二密封件与工件挂架驱动连接。

作为优选，所述镀膜装置还包括有冷凝回收装置，所述冷凝回收装置包括第二管体，第二管体的右端密封，第二管体开设有材料入口和气体出口，所述材料入口通过管道与真空炉连通，所述气体出口通过管道与真空泵连通，还包括冷凝器，冷凝器包括设置于第二管体内部的第二冷凝管、与第二冷凝管的左端固定连接的冷凝端盖，冷凝端盖的右壁面与第二管体的左端可拆卸连接，所述第二冷凝管的管体设置有螺纹结构。

作为优选，所述冷凝器还包括与冷凝端盖的左壁面固定连接的柱状体，柱状体开设有深冷接头,深冷接头设置有冷却水入口和回流水出口。