[实用新型]一种晶圆转换片夹

权利要求书

1.一种晶圆转换片夹，其特征在于：包括用于放置待加工晶圆的底盘、至少一个设置在所述底盘靠近边缘处的挡块和设置在所述底盘上与所述挡块相对另一侧的夹紧装置，所述夹紧装置将待加工的晶圆固定在所述底盘上。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆转换片夹，其特征在于：所述挡块为两个，分别设置在所述底盘的靠近边缘处，所述挡块与底盘的连接处开设有与待加工晶圆的边缘相匹配的弧形凹槽，待加工的晶圆能插入到所述弧形凹槽中。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆转换片夹，其特征在于：所述夹紧装置为一弹簧片和一个卡爪，所述卡爪和弹簧片之间固定连接，所述弹簧片的一端与底盘可转动的连接，另一端设有卡扣，所述底盘上设有与所述卡扣相对应的定位孔，所述弹簧片的另一端设有台阶结构并向上翘起。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆转换片夹，其特征在于：所述卡爪上设有用于定位待加工晶圆的弧形凹槽。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆转换片夹，其特征在于：所述底盘的中心位置处开设十字槽。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆转换片夹，其特征在于：所述底盘上还开设有用于夹取待加工晶圆的镊子孔。

7.根据权利要求1～3任意一项所述的一种晶圆转换片夹，其特征在于：所述底盘、卡爪和挡块的材料均为铝合金。