[实用新型]纳米真空阴极联合多弧镀膜机有效
| 申请号： | 201520420952.9 | 申请日： | 2015-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN204803395U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 张建坡;李亚军 | 申请（专利权）人： | 超微中程纳米科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 真空 阴极 联合 镀膜 | ||
1.一种纳米真空阴极联合多弧镀膜机，包括机器外壳（1），在所述的机器外壳（1）内设有多弧镀膜室（2），其特征在于，所述的多弧镀膜室（2）内部设有旋转支架（5），所述的旋转支架（5）下方设有驱动电机（6），所述的多弧镀膜室（2）的顶部设有真空阴极电子枪（3），在所述的多弧镀膜室（2）的底部设有辅助阳极（4），在所述的多弧镀膜室（2）上连接有抽真空系统。
2.根据权利要求1所述的纳米真空阴极联合多弧镀膜机，其特征在于，所述的抽真空系统包括第一精抽阀（8）、第二精抽阀（9）以及第三精抽阀（10），所述的第一精抽阀（8）与多弧镀膜室（2）连接，所述的第一精抽阀（8）底部通过第一分子泵（11）与维持阀（16）连接，所述的第二精抽阀（9）底部通过第二分子泵（12）与维持阀（16）连接，所述的第三精抽阀（10）底部通过第三分子泵（13）与维持阀（16）连接，所述的维持阀（16）上连接有维持泵（17），在所述的维持阀（16）前部的管道上分出一路连接有前级阀（15），所述的第三精抽阀（10）与预抽阀（14）连接，在所述的前级阀（15）与预抽阀（14）之间连接直通管道（20），在所述的直通管道（20）上分出一路串联罗茨泵（18）以及预抽泵（19）。
3.根据权利要求2所述的纳米真空阴极联合多弧镀膜机，其特征在于，所述的第一精抽阀（8）与多弧镀膜室（2）之间的管道上设有放气阀（7）。
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