[实用新型]纳米真空阴极联合多弧镀膜机

说明书

技术领域

本实用新型涉及纳米喷涂行业中的镀膜机，尤其是涉及一种纳米真空阴极联合多弧镀膜机。

背景技术

纳米涂层指纳米无毒涂层的先进工艺，科技含量高的纳米涂层技术，这种高科技纳米涂层不仅无毒无害，还可以缓慢释放出一种物质，降解室内甲醛、二甲苯等有害物质。纳米材料涂层可以提高基体的腐蚀防护能力，达到表面修饰、装饰目的。在油漆或涂料中加入纳米颗粒，可进一步提高其防护能力，能够耐大气，紫外线侵害，从而实现防降解，防变色等功效；另外，还可以在建材产品，如卫生洁具、室内空间、用具等中运用纳米材料涂层，产生杀菌、保洁效果。

现有的镀膜机多采用固定式镀膜，由于靶材与离子源的距离不等，从而造成镀膜层厚度不均匀现象发生，并且纳米涂层附着力较差，生产的产品质量不高。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够保证镀膜均匀并且能够增加涂层的附着力的纳米真空阴极联合多弧镀膜机。

本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是：一种纳米真空阴极联合多弧镀膜机，包括机器外壳，在所述的机器外壳内设有多弧镀膜室，所述的多弧镀膜室内部设有旋转支架，所述的旋转支架下方设有驱动电机，所述的多弧镀膜室的顶部设有真空阴极电子枪，在所述的多弧镀膜室的底部设有辅助阳极，在所述的多弧镀膜室上连接有抽真空系统。

进一步具体的，所述的抽真空系统包括第一精抽阀、第二精抽阀以及第三精抽阀，所述的第一精抽阀与多弧镀膜室连接，所述的第一精抽阀底部通过第一分子泵与维持阀连接，所述的第二精抽阀底部通过第二分子泵与维持阀连接，所述的第三精抽阀底部通过第三分子泵与维持阀连接，所述的维持阀上连接有维持泵，在所述的维持阀前部的管道上分出一路连接有前级阀，所述的第三精抽阀与预抽阀连接，在所述的前级阀与预抽阀之间连接直通管道，在所述的直通管道上分出一路串联罗茨泵以及预抽泵。

进一步具体的，所述的第一精抽阀与多弧镀膜室之间的管道上设有放气阀。

本实用新型的有益效果是：采用了上述结构至，在机器内部能够保证镀膜的时候自动化旋转，能够保证镀膜的厚度均匀，采用此抽真空系统能够保证机器内部的真空度，使得涂层的附着力增加，提高产品的质量。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1、机器外壳；2、多弧镀膜室；3、真空阴极电子枪；4、辅助阳极；5、旋转支架；6、驱动电机；7、放气阀；8、第一精抽阀；9、第二精抽阀；10、第三精抽阀；11、第一分子泵；12、第二分子泵；13、第三分子泵；14、预抽阀；15、前级阀；16、维持阀；17、维持泵；18、罗茨泵；19、预抽泵；20、直通管道。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作详细的描述。

如图1所示一种纳米真空阴极联合多弧镀膜机，包括机器外壳1，在所述的机器外壳1内设有多弧镀膜室2，所述的多弧镀膜室2内部设有旋转支架5，所述的旋转支架5下方设有驱动电机6，所述的多弧镀膜室2的顶部设有真空阴极电子枪3，在所述的多弧镀膜室2的底部设有辅助阳极4，在所述的多弧镀膜室2上连接有抽真空系统；所述的抽真空系统包括第一精抽阀8、第二精抽阀9以及第三精抽阀10，所述的第一精抽阀8与多弧镀膜室2连接，所述的第一精抽阀8底部通过第一分子泵11与维持阀16连接，所述的第二精抽阀9底部通过第二分子泵12与维持阀16连接，所述的第三精抽阀10底部通过第三分子泵13与维持阀16连接，所述的维持阀16上连接有维持泵17，在所述的维持阀16前部的管道上分出一路连接有前级阀15，所述的第三精抽阀10与预抽阀14连接，在所述的前级阀15与预抽阀14之间连接直通管道20，在所述的直通管道20上分出一路串联罗茨泵18以及预抽泵19；所述的第一精抽阀8与多弧镀膜室2之间的管道上设有放气阀7。

在机器内部采用旋转支架5，能够保证工件一起转动起来，杜绝由于工件与阴极的距离所产生的涂层厚度不均现象的发生，采用上述抽真空系统能够很好的控制真空度，使得涂层的附着力增加，提高工件的质量。

需要强调的是，以上是本实用新型的较佳实施列而已，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。