[实用新型]晶元片盒测量治具及装置

权利要求书

1.晶元片盒测量治具，其特征在于：包括底板和对接件，底板相对的两侧平行设置有导向条，且两导向条之间的距离与待测晶元片盒的宽度相匹配；对接件包括若干于底板两导向条之间的上方平行排列的插板，所述插板与待测晶元片盒的插槽一一对应匹配以实现对接件与待测晶元片盒对插。

2.根据权利要求1所述的测量治具，其特征在于：所述插板的厚度小于所述插槽的高度，且差距不大于0.05mm。

3.根据权利要求1所述的测量治具，其特征在于：所述两导向条相对的侧面是斜面，倾斜角度是60°。

4.根据权利要求1所述的测量治具，其特征在于：所述各插板水平设置，其中部内凹形成U型缺口，且U型缺口直线段的长度与所述待测晶元片盒插槽的深度相匹配。

5.根据权利要求4所述的测量治具，其特征在于：所述底板于对应所述插板U型缺口的直线段与弯曲线段交接处设置有停止线。

6.根据权利要求1所述的测量治具，其特征在于：所述对接件与所述底板侧面相连接，且由对应所述导向条后端处的上方向前端延伸形成所述若干插板。

7.根据权利要求1所述的测量治具，其特征在于：所述测量治具由不锈钢制成。

8.晶元片盒测量装置，用于测量晶元片盒的形变，其特征在于：包括如上述权利要求任一项所述的测量治具及一推力计，待测晶元片盒置于所述测量治具底板上的两导向条之间，所述推力计连接于所述待测晶元片盒上并于所述待测晶元片盒推动至与所述对接件对插的过程中显示推力数值。

9.根据权利要求8所述的测量装置，其特征在于：所述底板上沿所述导向条的延伸方向定义有基准区及测试区，所述插板位于所述测试区上方，所述待测晶元片盒在测试过程中由所述基准区移动至所述测试区。