[实用新型]晶元片盒测量治具及装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种测量工具，特别是涉及晶元片盒测量治具及装置。

背景技术

晶元片盒是半导体生产中广泛应用的收纳器具，其盒内由分隔片分隔成若干平行的插槽，晶片依次插入插槽中以便于存储及运输。根据晶片通用的尺寸，晶元片盒亦设置有多种相匹配的通用规格。

晶元片盒主要由轻质塑料制成，例如PEEK、PFA、PP等，长时间使用后会受到温度或其他环境影响而发生形变。晶元片盒一旦发生形变，设备机械手臂取片时或晶元片在片盒之间互相传送时极易发生晶元片破损的情况，造成不必要的损失，尤其是内部的分隔片发生弯曲形变导致插槽不平整及高度发生变化时，这种情况尤为明显，因而检测和评估晶元片盒的形变状况十分重要。

为测量晶元片盒形变程度，目前常采用目测或刻度尺进行尺寸的量测，但以上方法测量误差较大，操作困难大，不能满足实际生产要求。因此，如何有效精确地测量晶元盒是否形变，已成为急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型提供了晶元片盒测量装置，其克服了现有技术所存在的不足之处。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：晶元片盒测量治具，包括底板和对接件，底板相对的两侧平行设置有导向条，且两导向条之间的距离与待测晶元片盒的宽度相匹配；对接件包括若干于底板两导向条之间的上方平行排列的插板，所述插板与待测晶元片盒的插槽一一对应匹配以实现对接件与待测晶元片盒对插。

优选的，所述插板的厚度小于所述插槽的高度，且差距不大于0.05mm。

优选的，所述两导向条相对的侧面是斜面，倾斜角度是60°。

优选的，所述各插板水平设置，其中部内凹形成U型缺口，且U型缺口直线段的长度与所述待测晶元片盒插槽的深度相匹配。

优选的，所述底板于对应所述插板U型缺口的直线段与弯曲线段交接处设置有停止线。

优选的，所述对接件与所述底板侧面相连接，且由对应所述导向条后端处的上方向前端延伸形成所述若干插板。

优选的，所述测量治具由不锈钢制成。

晶元片盒测量装置，用于测量晶元片盒的形变，包括如上述权利要求任一项所述的测量治具及一推力计，待测晶元片盒置于所述测量治具底板上的两导向条之间，所述推力计连接于所述待测晶元片盒上并于所述待测晶元片盒推动至与所述对接件对插的过程中显示推力数值。

优选的，所述底板上沿所述导向条的延伸方向定义有基准区及测试区，所述插板位于所述测试区上方，所述待测晶元片盒在测试过程中由所述基准区移动至所述测试区。

相较于现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

晶元片盒测量治具设置有与待测晶元片盒的插槽的尺寸及位置一一对应匹配的插板以实现精确的对插。在测试过程中，待测晶元片盒置于测量治具底板上的两导向条之间，推力计连接于待测晶元片盒上并于所述待测晶元片盒推动至与所述对接件对插的过程中显示推力数值，通过对插前及对插后的推力值对比，即可判断晶元片盒是否发生形变及形变的严重程度，操作简单，结果准确，且测试值不会受测量者的更换而变化，稳定性好，对实际生产具有指导意义。

以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步详细说明；但本实用新型的晶元片盒测量治具及装置不局限于实施例。

附图说明

图1是本实用新型测量治具的正视示意图；

图2是本实用新型测量治具的侧视示意图；

图3是本实用新型测量治具的俯视示意图；

图4是本实用新型测量装置的结构示意图，其中箭头表示晶元片盒的移动方向。

具体实施方式

实施例，请参见图1至图3所示，本实用新型的晶元片盒测量治具1用于测量晶元片盒的形变程度，其结构包括底板11和对接件12。底板11于纵长方向的两侧平行设置导向条111，两导向条111相对的侧面是斜面，倾斜角度是60°。对接件12与底板11侧面相连接，并包括若干于底板两导向条111之间的上方平行排列的插板121，具体的，插板121是由对应导向条111后端处的上方向前端延伸形成的。各插板121水平设置，中部内凹形成U型缺口，底板11于对应U型缺口的直线段与弯曲线段交接处设置停止线112。整个治具1由不锈钢制成。