[实用新型]一种光刻胶自动平衡调节装置

权利要求书

1.一种光刻胶自动平衡调节装置，其特征在于：所述光刻胶自动平衡调节装置包括两个机构固定座、涂胶刮刀、涂胶刮刀龙门架、两个龙门架活性自动补偿机构、两套步进减速电机、两个丝杆模组、两个实时平衡检测反馈元件，所述涂胶刮刀龙门架安装在两个机构固定座之间，所述涂胶刮刀安装在所述涂胶刮刀龙门架上；两个龙门架活性自动补偿机构安装在所述涂胶刮刀龙门架的同一端与所述涂胶刮刀龙门架活动连接，且与所述机构固定座连接；一个步进减速电机安装在一个机构固定座上，所述步进减速电机的输出端通过丝杆模组与所述涂胶刮刀龙门架的一端活动连接，两个实时平衡检测反馈元件沿水平方向安装在所述涂胶刮刀龙门架上。

2.如权利要求1所述的光刻胶自动平衡调节装置，其特征在于：所述涂胶刮刀龙门架包括刀架A梁座、刀架B梁座、两个刮刀安装块，所述刀架A梁座与所述刀架B梁座相互配合安装在两个机构固定座之间，两个刮刀安装块安装在所述刀架A梁座与所述刀架B梁座之间，一个龙门架活性自动补偿机构通过所述刀架A梁座与所述机构固定座连接，另一个龙门架活性自动补偿机构通过所述刀架B梁座与所述机构固定座连接。

3.如权利要求1所述的光刻胶自动平衡调节装置，其特征在于：所述龙门架活性自动补偿机构包括依次连接的梁壁轴承压块、第一V型导轨、刀架轴承压块、轴承、第二V型导轨、梁壁滑块。

4.如权利要求2所述的光刻胶自动平衡调节装置，其特征在于：所述实时平衡检测反馈元件包括依次连接的激光位移传感器、传感器安装板、调节平台、位移平台安装座、滑轨，所述滑轨安装在所述刀架A梁座上，所述位移平台安装座与所述滑轨滑动连接，所述激光位移传感器的电信号输出端与所述步进减速电机电连接。

5.如权利要求1所述的光刻胶自动平衡调节装置，其特征在于：所述光刻胶自动平衡调节装置包括两个光电感应开关，每套步进减速电机与一个光电感应开关电性连接。