[实用新型]一种光刻胶自动平衡调节装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光刻胶自动平衡调节装置。

背景技术

在对触摸屏的基板曝光作业中，对玻璃基板上光刻胶的厚度及平面均匀性要求极高，涂胶品质差则容易造成曝光时局部过度曝光或曝光度不够、视觉对位不准确、线路的线宽线距不达标、设备运行不稳定等等一系列影响。

现行的工作模式，平衡调节的方式是采用手动调节好后进行固定锁紧的硬性连接，基于调整结构在不断运动磨合中的不稳定性，缺少平衡自动实时监控反馈并实时修复的功能，导致涂布在玻璃基板上光刻胶或厚或薄极不均匀，每片基板的涂布效果各异，或出现胶面折皱波纹，或直接损伤玻璃基板等等不良结果，极大的影响后继曝光工艺品质，降低良品率，增加成本，加大劳动强度。

现有技术存在以下缺陷：

1、手动调整平衡平行度操作难度大，误差大，耗时长，效率低；

2、结构不稳定造成胶液涂布平面均匀性差、波纹，品质不稳定；

3、涂布间隙无法精确保证，造成胶液涂布时损伤玻璃基板表面；

4、无法实时监控及报警提示，自动化作业时易造成批量性不良；

5、后继生产工艺升级受到限制。

实用新型内容

本实用新型提出一种光刻胶自动平衡调节装置，解决了现有技术中存在的缺陷，克服了手动调整平衡平行度操作难度大，误差大，耗时长，效率低等问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种光刻胶自动平衡调节装置，所述光刻胶自动平衡调节装置包括两个机构固定座、涂胶刮刀、涂胶刮刀龙门架、两个龙门架活性自动补偿机构、两套步进减速电机、两个丝杆模组、两个实时平衡检测反馈元件，所述涂胶刮刀龙门架安装在两个机构固定座之间，所述涂胶刮刀安装在所述涂胶刮刀龙门架上；两个龙门架活性自动补偿机构安装在所述涂胶刮刀龙门架的同一端与所述涂胶刮刀龙门架活动连接，且与所述机构固定座连接；一个步进减速电机安装在一个机构固定座，所述步进减速电机的输出端通过丝杆模组与所述涂胶刮刀龙门架的一端活动连接，两个实时平衡检测反馈元件沿水平方向安装在所述涂胶刮刀龙门架上。

进一步，所述涂胶刮刀龙门架包括刀架A梁座、刀架B梁座、两个刮刀安装块，所述刀架A梁座与所述刀架B梁座相互配合安装在两个机构固定座之间，两个刮刀安装块安装在所述刀架A梁座与所述刀架B梁座之间，一个龙门架活性自动补偿机构通过所述刀架A梁座与所述机构固定座连接，另一个龙门架活性自动补偿机构通过所述刀架B梁座与所述机构固定座连接。

进一步，所述龙门架活性自动补偿机构包括依次连接的梁壁轴承压块、第一V型导轨、刀架轴承压块、轴承、第二V型导轨、梁壁滑块。

进一步，所述实时平衡检测反馈元件包括依次连接的激光位移传感器、传感器安装板、调节平台、位移平台安装座、滑轨，所述滑轨安装在所述刀架A梁座上，所述位移平台安装座与所述滑轨滑动连接，所述激光位移传感器的电信号输出端与所述步进减速电机电连接。

进一步，所述光刻胶自动平衡调节装置包括两个光电感应开关，每套步进减速电机与一个光电感应开关电性连接。

本实用新型的有益效果为：本实用新型的光刻胶自动平衡调节装置，提升了工艺品质，降代了成本，同时优化后继生产工艺升级的基础。

1、设计工艺更加先进，科学合理；

2、以其灵敏的平衡自动调节功能，以及对间隙精确的实时控制，可在玻璃基板上涂布厚度3um以上，平面均匀性优良的光刻胶；

3、龙门架两端采用进口步进减速电机+高清研磨丝杆驱动，实现工作中尺寸精确补偿修正；

4、、龙门架联接具备活性自动补偿功能，防止机构运动中卡死；

5、实时自动检测反馈系统与两端步进驱动进行数据通讯交换，保证涂胶刮刀与玻璃基板在工作运动中的间隙、精准平行度，从而保证涂胶品质，提升良品质，节约光刻胶用量成本；

6、平衡调节自动化极大降低工人操作疲劳强度，节省时间，或者直接减少设备所需操作人员数量；

7、使操作变得方便，快捷，容易。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种光刻胶自动平衡调节装置一个实施例的立体结构示意图；

图2为图1所示光刻胶自动平衡调节装置的拆分结构示意图。