[实用新型]一种辅助扩散后卸载硅片的支架

权利要求书

1.一种辅助扩散后卸载硅片的支架，其特征在于，包括L型的支撑板、与支撑板连接的承载板，所述支撑板将承载板支撑为一个25°—35°倾斜的斜坡，所述支承载板顶面垂直设有定位板，所述定位板为直角板，所述定位板的尖端朝向承载板低位一端，所述定位板设置在承载板低位一端。

2.根据权利要求1所述的一种辅助扩散后卸载硅片的支架，其特征是，所述承载板顶面设有网纹，所述网纹与所述承载板顶面过渡面为弧面。

3.根据权利要求1所述的一种辅助扩散后卸载硅片的支架，其特征是，所述定位板朝向所述承载板高位一侧设有缓冲垫。

4.根据权利要求1所述的一种辅助扩散后卸载硅片的支架，其特征是，所述承载板低位一端顶面设有螺孔，所述定位板朝向所述定位板一侧设有固定边条，所述定位板与固定边条为钣金件且一体冲压成型，所述固定边条上设有通孔，螺栓穿过所述通孔与所述螺孔配合，将所述边条固定在所述承载板上。