[实用新型]一种真空镀铝机蒸发舟装置有效
| 申请号： | 201520452275.9 | 申请日： | 2015-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN204714883U | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 任光娟;刘玉贞;门俊岩;王海平;薛守成 | 申请（专利权）人： | 烟台博源科技材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/24 |
| 代理公司： | 烟台双联专利事务所(普通合伙) 37225 | 代理人： | 曲显荣 |
| 地址： | 264670 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 镀铝 蒸发 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀铝机蒸发舟装置，包括电极、蒸发舟，其特征在于：所述电极分别为位于蒸发舟（4）两端的复式电极、简式电极，所述复式电极由电极柱（1）、电极筒（2）、夹头（3）组成。
2.如权利要求1 所述的一种真空镀铝机蒸发舟装置，其特征在于：所述电极筒（2）为筒状结构，套在电极柱（1）的外表面，其半径尺寸比电极柱（1）的半径尺寸大4-10mm。
3.如权利要求1或2 所述的一种真空镀铝机蒸发舟装置，其特征在于：蒸发舟的排列方式采用两排交错式排列。
4.如权利要求3所述的一种真空镀铝机蒸发舟装置，其特征在于：简式电极为固定电极片（5）。
5.如权利要求4所述的一种真空镀铝机蒸发舟装置，其特征在于：所述夹头（3）通过两个连接孔（7）把夹头（3）固定在电极柱（1）上。
6.如权利要求5所述的一种真空镀铝机蒸发舟装置，其特征在于：所述夹头（3）和固定电极片（5）上分别设置有固定蒸发舟的安装平台（8）和支撑平台（9）。
7.如权利要求6所述的一种真空镀铝机蒸发舟装置，其特征在于：所述安装平台（8）的宽度比蒸发舟（4）大1-4mm。
8.如权利要求6所述的一种真空镀铝机蒸发舟装置，其特征在于：所述支撑平台（9）的宽度比蒸发舟（4）大1-6mm。
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