[实用新型]一种电子级溶液的充装系统

权利要求书

1.一种电子级溶液的充装系统，其特征在于，包括预处理机构、风淋机构和充装机构，所述预处理机构包括预处理室和吹扫装置，所述吹扫装置设置于预处理室内，所述风淋机构包括风淋室、干燥空气加热装置和第一风机，所述第一风机的入口朝向风淋室外设置，所述第一风机的出口与干燥空气加热装置的入口连接，所述风淋室的顶部和侧面分别设有风淋口，所述干燥空气加热装置的出口与所述风淋口连通，所述风淋室的底部设有排风口，所述充装机构包括充装室、进风装置、进液装置和充装装置，所述充装室的顶部设有进风管道和充装管道，所述进风装置包括第二风机、初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器，所述初效过滤器、第二风机、中效过滤器和高效过滤器依次连接，所述高效过滤器的出口与进风管道连通，所述充装室的底部设有出风口，所述进液装置包括充装管路、高纯水管路、导气管路和废液抽排管路，所述充装装置包括机械夹具和充装接头，所述机械夹具可旋转地设置于充装室顶部且沿充装室顶部方向可升降设置，所述充装接头上设有导气口和充装口，充装接头的一端与机械夹具连接，充装接头的另一端分别与导气口和充装口连通，所述导气管路通过充装管道与导气口连接，所述充装管路、高纯水管路和废液抽排管路分别通过充装管道与充装口连接，所述预处理室、风淋室和充装室依次连通设置。

2.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，还包括传送机构，所述传送机构设置于预处理室的出口处并依次通过风淋室和充装室。

3.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述吹扫装置为高压气枪，所述干燥空气加热装置为空气加热器。

4.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述预处理机构还包括粘尘装置，所述粘尘装置靠近预处理机构的出口设置。

5.根据权利要求4所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述粘尘装置为粘尘纸或粘尘布。

6.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述风淋机构还包括空气过滤装置，所述空气过滤装置的一端与风机的入口连接，所述空气过滤装置的另一端设置于风淋室外。

7.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述风淋室和充装室的入口和出口处分别设置有防尘装置，所述防尘装置为防尘帘。

8.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述进液装置还包括计量装置，所述计量装置包括容液槽、液位计量件和称重件，所述容液槽与充装管路连通，所述液位计量件设置于容液槽内，所述称重件设置于容液槽底部。

9.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述充装室的侧面设置有透明板，所述透明板上设有防酸手套，所述防酸手套穿过透明板并伸入充装室内。

10.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述机械夹具和充装接头分别为两个或两个以上。