[实用新型]一种电子级溶液的充装系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及溶液充装技术，特别涉及一种电子级溶液的充装系统。

背景技术

电子级溶液的充装系统对洁净程度和防污染的要求较高，例如电子级氢氟酸。电子级氢氟酸主要用于电子、光伏行业中生产集成电路，要求金属含量一般低于10ppb，非金属含量如Cl^-≦5000ppb、NO^3-≦3000ppb、PO₄^3-≦1000ppb、SO₄^2-≦5000ppb。这不仅对于生产工艺，也是对充装工作提出了更高的要求和精细掌控。目前对于电子级的氢氟酸生产主要是将工业氢氟酸进一步氧化和精馏除杂，然后进行充装。为了提高生产效率，大多采用连续性充装，而输送管道、充装环境又大多是半露天设置。为保证产品质量，充装必需快捷、无风，避免空气中的杂质对氢氟酸的影响。此外，根据不同的需求、充装桶的规格不一、高度不同、甚至外表与内部洁净程度以及内部压力等的不同，上述情况都对充装工作提出了更高要求和更严格把控。

专利号为200720187316.1的中国专利申请公开了一种充装浓硫酸的装置，该装置的由下列结构组成：注酸管头一该注酸管头包括由注酸管、套装在注酸管端头外的套管、套管上端与注酸管外壁间固定联接的一水平环形板形成的一下端开口的环形腔；受酸管头一该受酸管头包括一由受酸管扩口后的上端开口的直筒圆管、同轴内置于直筒圆管内的内置短管、内置短管下端与受酸管直筒圆管内壁间固定联接的一水平环形板的形成的一上端开口的环形腔；受酸管头排酸孔一该排酸孔开孔于受酸管头的内置短管下端与受酸管直筒圆管内壁间固定联接的平环形板上；注酸管头和受酸管头同轴扣合联接。采用上述充装浓硫酸的装置进行硫酸充装操作时，既能保证装酸的顺畅，同时可有效地将溅起的酸进行阻挡，并回流到装酸装置中，有效的防止酸溅出，操作简单、安全可靠。

但是上述专利提供的充装浓硫酸的装置并不能满足内外洁净度的要求，同时其充装过程中仍存在外界环境对溶液发生污染的问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种内外洁净程度高且能有效避免溶液污染的电子级溶液的充装系统。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种电子级溶液的充装系统，包括预处理机构、风淋机构和充装机构，所述预处理机构包括预处理室和吹扫装置，所述吹扫装置设置于预处理室内，所述风淋机构包括风淋室、干燥空气加热装置和第一风机，所述第一风机的入口朝向风淋室外设置，所述第一风机的出口与干燥空气加热装置的入口连接，所述风淋室的顶部和侧面分别设有风淋口，所述干燥空气加热装置的出口与所述风淋口连通，所述风淋室的底部设有排风口，所述充装机构包括充装室、进风装置、进液装置和充装装置，所述充装室的顶部设有进风管道和充装管道，所述进风装置包括第二风机、初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器，所述初效过滤器、第二风机、中效过滤器和高效过滤器依次连接，所述高效过滤器的出口与进风管道连通，所述充装室的底部设有出风口，所述进液装置包括充装管路、高纯水管路、导气管路和废液抽排管路，所述充装装置包括机械夹具和充装接头，所述机械夹具可旋转地设置于充装室顶部且沿充装室顶部方向可升降设置，所述充装接头上设有导气口和充装口，充装接头的一端与机械夹具连接，充装接头的另一端分别与导气口和充装口连通，所述导气管路通过充装管道与导气口连接，所述充装管路、高纯水管路和废液抽排管路分别通过充装管道与充装口连接，所述预处理室、风淋室和充装室依次连通设置。

进一步的，还包括传送机构，所述传送机构设置于预处理室的出口处并依次通过风淋室和充装室。

进一步的，所述吹扫装置为高压气枪，所述干燥空气加热装置为空气加热器。

进一步的，所述预处理机构还包括粘尘装置，所述粘尘装置靠近预处理机构的出口设置。

进一步的，所述粘尘装置为粘尘纸或粘尘布。

进一步的，所述风淋机构还包括空气过滤装置，所述空气过滤装置的一端与第一风机的入口连接，所述空气过滤装置的另一端设置于风淋室外。

进一步的，所述风淋室和充装室的入口和出口处分别设置有防尘装置，所述防尘装置为防尘帘。

进一步的，所述充装机构还包括计量装置，所述计量装置包括容液槽、液位计量件和称重件，所述容液槽与充装管路连通，所述液位计量件设置于容液槽内，所述称重件设置于容液槽底部。