[实用新型]高效率吸取装置

权利要求书

1.一种高效率吸取装置，用以吸取一基板，其特征在于，包括有：

一吸取本体，包括有一朝向所述基板的吸取平面，一与所述吸取平面平行的操作平面，以及多个各别独立贯穿所述吸取本体且连通所述吸取平面与所述操作平面的抽气通道，所述多个抽气通道包括有一开设于所述吸取平面的第一开口以及一开设于所述操作平面的第二开口，所述吸取本体的所述操作平面根据所述基板实际形状定义出一对应所述基板的抽气区域以及一未对应所述基板的空白区域；

多个抽气管，分别接设所述抽气区域中的所述多个抽气通道，所述多个抽气管包括有一插接于所述多个抽气通道的所述第二开口的第一端，以及一远离所述第一端并与其气流连通的第二端，所述第二端连接一负压产生源针对所述抽气区域中的所述多个抽气通道抽气使所述基板吸附于所述吸取平面。

2.如权利要求1所述的高效率吸取装置，其特征在于，所述吸取本体为透明材料。

3.如权利要求1所述的高效率吸取装置，其特征在于，所述吸取本体的所述多个抽气通道彼此以矩阵方式排列。

4.如权利要求1所述的高效率吸取装置，其特征在于，所述吸取本体包括有一位于所述吸取平面的弹性层。

5.如权利要求1所述的高效率吸取装置，其特征在于，所述多个抽气管包括有一位于所述第一端的第一接合件，所述多个抽气通道包括有一位于所述第二开口且与所述第一接合件相互固定的第二接合件。

6.如权利要求5所述的高效率吸取装置，其特征在于，所述第一接合件与所述第二接合件具有磁性相异的磁极。

7.如权利要求1所述的高效率吸取装置，其特征在于，所述多个抽气管包括有一位于所述第一端的第一接合件，所述吸取本体为磁性材料，所述第一接合件与所述吸取本体具有磁性相异的磁极。

8.如权利要求1所述的高效率吸取装置，其特征在于，所述多个抽气通道包括有一连通所述第一开口的第一通道与一连通所述第二开口的第二通道，所述第一通道的截面积小于所述第二通道的截面积。

9.如权利要求8所述的高效率吸取装置，其特征在于，所述多个抽气管的所述第一端紧密插设于所述第二通道，所述第一通道的截面积小于所述第一端的截面积。

10.如权利要求8所述的高效率吸取装置，其特征在于，所述第一通道的截面积范围为1mm～19mm。

11.如权利要求8所述的高效率吸取装置，其特征在于，所述第二通道的截面积范围为2mm～20mm。

12.如权利要求8所述的高效率吸取装置，其特征在于，所述第一通道与所述第二通道的截面积比为1：2。

13.如权利要求8所述的高效率吸取装置，其特征在于，所述多个抽气通道包括有一位于所述第一通道与所述第二通道之间供所述多个抽气管的所述第一端抵靠的抵掣部。