[实用新型]一种硅晶片背面湿法喷砂用砂子回收装置有效

专利信息
申请号: 201520475568.9 申请日: 2015-07-06
公开(公告)号: CN204843881U 公开(公告)日: 2015-12-09
发明(设计)人: 李战国;史建强;邓德翼;李建刚 申请(专利权)人: 麦斯克电子材料有限公司
主分类号: B24C9/00 分类号: B24C9/00
代理公司: 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 代理人: 罗民健
地址: 471000 河南省洛阳*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶片 背面 湿法 喷砂 砂子 回收 装置
【权利要求书】:

1.一种硅晶片背面湿法喷砂用砂子回收装置,其特征在于:包括由横向支撑杆(2)和纵向支撑杆(3)支撑加固的不锈钢槽体(6),不锈钢槽体(6)的底部设置有万向脚轮(1),上部设置有推车把手(5),在不锈钢槽体(6)长度方向的两端分别设置有与下水管道连接的出水口(4)和与喷砂设备排液口连接的进水口(8),不锈钢槽体(6)的内部设置有两块不锈钢隔断溢流板(7),两块不锈钢隔断溢流板(7)将不锈钢槽体(6)的内部空间依次分隔成一级沉淀槽(601)、二级沉淀槽(602)和三级沉淀槽(603),且一级沉淀槽(601)靠近进水口(8),三级沉淀槽(603)靠近出水口(4)。

2.根据权利要求1所述的一种硅晶片背面湿法喷砂用砂子回收装置,其特征在于:所述两块不锈钢隔断溢流板(7)的顶部为锯齿状。

3.根据权利要求1所述的一种硅晶片背面湿法喷砂用砂子回收装置,其特征在于:所述进水口(8)的位置高于两块不锈钢隔断溢流板(7)的顶部位置,出水口(4)的位置低于两块不锈钢隔断溢流板(7)的顶部位置。

4.根据权利要求1所述的一种硅晶片背面湿法喷砂用砂子回收装置,其特征在于:所述一级沉淀槽(601)为不锈钢槽体(6)的一半,二级沉淀槽(602)和三级沉淀槽(603)大小相同。

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