[实用新型]一种硅片清洗周转盒

权利要求书

1.一种硅片(2)清洗周转盒，其特征在于，包括：

若干个清洗框(1)；

若干个靠板(4)，所述靠板(4)倾斜设置在清洗框(1)内；

若干个弹性支架(5)，所述弹性支架(5)固定设置在靠板(4)的一端，所述弹性支架(5)具有弹性底板(51)和一对底板固定块(52)，一对底板固定块(52)分别固定在弹性底板(51)的两端；

若干个底板支架组合(6)，所述底板支架组合(6)固定设置在清洗框(1)内，且抵挡在一对底板固定块(52)上。

2.根据权利要求1所述的硅片(2)清洗周转盒，其特征在于，所述底板支架组合(6)包括本体、支架腿一(61)和支架腿二(62)，所述支架腿一(61)连接在本体的中部，且一端延伸至清洗框(1)的内底，所述支架腿二(62)连接在本体的一端，且另一端延伸至清洗框(1)的内底。

3.根据权利要求2所述的硅片(2)清洗周转盒，其特征在于，所述底板支架组合(6)还包括支架面一(63)、支架面二(64)和支架面三(65)，所述支架面一(63)位于本体的一侧，且抵挡在一个底板固定块(52)上，所述支架面二(64)位于本体的一侧，且抵挡在另一个底板固定块(52)上，所述支架面三(65)位于位于本体的一侧，且抵挡在靠板(4)的一端。

4.根据权利要求3所述的硅片(2)清洗周转盒，其特征在于，所述底板支架组合(6)还包括支架连接面(66)，所述支架连接面(66)位于本体的另一端，且抵挡在靠板(4)的外侧面。

5.根据权利要求1所述的硅片(2)清洗周转盒，其特征在于，还包括若干个靠板支架(7)，所述靠板支架(7)的一端延伸至清洗框(1)的内底，另一端抵挡在靠板(4)的外侧面。

6.根据权利要求3所述的硅片(2)清洗周转盒，其特征在于，所述两个底板固定块(52)上均设有凸缘，所述凸缘抵挡在本体的一侧。

7.根据权利要求6所述的硅片(2)清洗周转盒，其特征在于，所述凸缘的横截面呈弧形。