[实用新型]一种硅片清洗周转盒

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗辅助工具领域，具体涉及一种硅片清洗周转盒。

背景技术

目前随着太阳能光伏电池的发展，光伏电池线路集成度的不断提高，线宽的不断减小，光伏电池对硅片的质量要求也越来越高，特别是对硅抛光片的表面质量要求越来越严。硅片的清洗很重要，它影响电池的转换效率，如器件的性能中反向电流迅速加大及器件失效等。这主要是因为抛光片表面的颗粒和金属杂质沾污会严重影响器件的质量和成品率。硅片表面的洁净度及表面态对高质量的硅器件工艺是至关重要的。如果表面质量达不到要求，无论其它工艺步骤控制得多么优秀，也是不可能获得高质量的半导体器件的。除去硅片表面上的沾污已不再是最终的要求。

中国专利CN201210041706.3公开一种硅片清洗周转盒，包括盒体，所述盒体为长方形结构，由塑料制成，其内可拆卸的设置有托架，所述托架开有个用于放置硅片的V字型槽，且托架的宽度小于硅片的宽度，其表面覆盖有一层起防滑减震作用的橡胶垫。但是该硅片清洗周转盒使用时容易损坏，结构设计不合理，没有减振效果。

因此急需一种结构合理、使用寿命长、具有减振作用的硅片清洗周转盒。

实用新型内容

本实用新型针对上述问题，提供一种结构合理、使用寿命长、具有减振作用的硅片清洗周转盒。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：

一种硅片清洗周转盒，其中，包括：清洗框；若干个靠板，所述靠板倾斜设置在清洗框内；若干个弹性支架，所述弹性支架固定设置在靠板的一端，所述弹性支架具有弹性底板和一对底板固定块，一对底板固定块分别固定在弹性底板的两端；若干个底板支架组合，所述底板支架组合固定设置在清洗框内，且抵挡在一对底板固定块上。

进一步地，所述底板支架组合包括本体、支架腿一和支架腿二，所述支架腿一连接在本体的中部，且一端延伸至清洗框的内底，所述支架腿二连接在本体的一端，且另一端延伸至清洗框的内底。

更进一步地，所述底板支架组合还包括支架面一、支架面二和支架面三，所述支架面一位于本体的一侧，且抵挡在一个底板固定块上，所述支架面二位于本体的一侧，且抵挡在另一个底板固定块上，所述支架面三位于位于本体的一侧，且抵挡在靠板的一端。

更进一步地，所述底板支架组合还包括支架连接面，所述支架连接面位于本体的另一端，且抵挡在靠板的外侧面。

进一步地，还包括若干个靠板支架，所述靠板支架的一端延伸至清洗框的内底，另一端抵挡在靠板的外侧面。

更进一步地，所述两个底板固定块上均设有凸缘，所述凸缘抵挡在本体的一侧。

更进一步地，所述凸缘的横截面呈弧形。

本实用新型的优点是结构设计合理、强度好，使用寿命长弹性支架、底板支架组合和靠板支架的设置具有减振作用。

除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本实用新型作进一步详细的说明。

附图说明

构成本说明书的一部分、用于进一步理解本实用新型的附图示出了本实用新型的优选实施例，并与说明书一起用来说明本实用新型的原理。在附图中：

图1是本实用新型的剖视图；

图2是本实用新型的另一视角局部剖视图；以及

图3是本实用新型的俯视图。

其中，图中标记为：

1为清洗框、2为硅片、3为橡胶垫、4为靠板、5为弹性支架、51为弹性底板、52为底板固定块、6为底板支架组合、61为支架腿一、62为支架腿二、63为支架面一、64为支架面二、65为支架面三、66为支架连接面、7为靠板支架。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。