[实用新型]一种非重力自放大力真空侧舱门密封机构

权利要求书

1.一种非重力自放大力真空侧舱门密封机构，包括与所述侧舱门传动连接的传动装置，其特征是：所述传动装置主要由位移输出装置、滑轨、支撑座、连接销和侧舱门限位块组成，所述位移输出装置的输出端通过支撑座与侧舱门固定连接；所述侧舱门包括侧舱门门板和侧舱门压板，所述侧舱门压板一端与支撑座固连，所述连接销的首、尾分别铰接侧舱门压板和侧舱门板，所述侧舱门压板至少一条侧边置于滑轨上与其形成滑动副；所述侧舱门限位块固定在侧舱门门框的外侧，当所述侧舱门横移到预定工位时，所述侧舱门限位块紧压侧舱门的侧边。

2.根据权利要求1所述的非重力自放大力真空侧舱门密封机构，其特征在于：所述位移输出装置包括电机和丝杠，所述电机的动力输出轴传动连接所述丝杠的一端，所述丝杠的另一端装有轴承；所述支撑座通过传动螺母与所述丝杠传动连接，所述滑轨平行置于丝杠与侧舱门之间，所述侧舱门压板通过若干连接销铰接侧舱门。

3.根据权利要求2所述的非重力自放大力真空侧舱门密封机构，其特征在于：在所述侧舱门压板与舱门之间还设有固连的导轨支撑杆。

4.根据权利要求1所述的非重力自放大力真空侧舱门密封机构，其特征在于：所述侧舱门门框上设有O形密封圈。

5.根据权利要求2所述的非重力自放大力真空侧舱门密封机构，其特征在于：所述位移输出装置还包括升降机，所述升降机设在所述电机动力输出轴与所述丝杠连接处，所述位移输出装置具有所述升降装置带动丝杠上升至预定工位、所述电机动力输出轴与所述丝杠传动连接的第一状态，以及所述升降装置带动丝杠下降至预定工位、所述电机动力输出轴与所述丝杠分离的第二状态。