[实用新型]一种非重力自放大力真空侧舱门密封机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种密封机构，尤其是一种非重力自放大力真空侧舱门密封机构。

背景技术

真空侧舱门密封机构，是真空设备中常用的结构，其功能是实现真空设备上开设侧舱门，方便人员和零、部件进出。目前所用的密封舱门通常采用人工拧紧外开门的压紧方式，操作起来比较麻烦，费时费力；而通过普通的电动压合方式，虽然可以实现舱门的自动开、闭，但是舱门在开启和关闭时需要一个较大的初始密封比压，所以对机械设备的机械强度和功率要求较高，因此其生产成本也会大幅上升，不适合市场推广。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：针对上述现有技术存在的问题，提出一种巧妙利用力学原理使用较小的力即可实现舱门自动开合的非重力自放大力真空侧舱门密封机构。

为了达到以上目的，本实用新型的非重力自放大力真空侧舱门密封机构，包括与所述侧舱门传动连接的传动装置，传动装置主要由位移输出装置、滑轨、支撑座、连接销和侧舱门限位块组成，位移输出装置的输出端通过支撑座与侧舱门固定连接；侧舱门包括侧舱门门板和侧舱门压板，侧舱门压板一端与支撑座固连，连接销的首、尾分别铰接侧舱门压板和侧舱门板，侧舱门压板至少一条侧边置于滑轨上与其形成滑动副；侧舱门限位块固定在侧舱门门框的外侧，当侧舱门横移到预定工位时，侧舱门限位块紧压侧舱门的侧边。

本实用新型的优选方案是：

进一步的，位移输出装置包括电机和丝杠，电机的动力输出轴传动连接丝杠的一端，丝杠的另一端装有轴承；支撑座通过传动螺母与丝杠传动连接，滑轨平行置于丝杠与侧舱门之间，侧舱门压板通过若干连接销铰接侧舱门。

进一步的，在侧舱门压板与舱门之间还设有固连的导轨支撑杆。

进一步的，侧舱门门框上设有O形密封圈。

进一步的，位移输出装置还包括升降机，升降机设在电机动力输出轴与丝杠连接处，位移输出装置具有升降机带动丝杠上升至预定工位、电机动力输出轴与所述丝杠传动连接的第一状态，以及升降机带动丝杠下降至预定工位、电机动力输出轴与丝杠分离的第二状态。

本实用新型有益效果为：本实用新型采用了力的平行四边形原理，在连杆接近90°时，推力将放大10倍，为了侧舱门与门框在开启状态脱离，采用了侧舱门限位组件结构，解决了静摩擦和动摩擦状态下的侧舱门开启脱离门框的难题，结构简单，安全可靠，对初始密封比压没有减弱。采用的5导轨自由度，使侧舱门在开、闭时启、闭自如。因而可以实现真空侧舱门的水平移动启、闭。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1为侧舱门关闭时的结构示意图；

图2为侧舱门锁紧时的结构示意图；

图3为侧舱门打开时的结构示意图。

图中：连接销1，第一侧舱门压块2，侧舱门门板3，第一侧舱门限位块4，侧舱门门框5，第二导轨组件6，O形密封圈7，第二侧舱门限位块8，滑轨9，升降机10，电机11，丝杠12，传动螺母13，轴承14，传动螺母支座15，导轨支撑杆16，第二侧舱门压块17，滑座18，侧舱门压板19。

具体实施方式

实施例一

非重力自放大力真空侧舱门密封机构，如图1所示，包括连接销1，第一侧舱门压块2，侧舱门门板3，第一侧舱门限位块4，侧舱门门框5，第二导轨组件6，O形密封圈7，第二侧舱门限位块8，第三导轨组件9，升降机10，电机11，丝杠12，传动螺母13，轴承14，传动螺母支座15，第一导轨组件16，第二侧舱门压块17，滑座18，侧舱门压板19；侧舱门压板19至少一条侧边置于滑轨9上与其形成滑动副；第一侧舱门限位块4固定在侧舱门门框的外侧，当侧舱门横移到关闭工位时，第一侧舱门限位块4紧压侧舱门门板3的侧边；电机11的动力输出轴传动连接丝杠12的一端，丝杠12的另一端装有轴承14；传动螺母支撑座15通过传动螺母13与丝杠12传动连接，滑轨9平行置于丝杠12与侧舱门门板3之间，侧舱门压板19和侧舱门门板3的相对侧面上均设有第一侧舱门压块2和第二侧舱门压块17，连接销1的首、尾端分别连接第一侧舱门压块2和第二侧舱门压块17。升降机10设在电机11动力输出轴与丝杠12连接处，位移输出装置具有升降机10带动丝杠12上升至预定工位、电机11动力输出轴与丝杠12传动连接的第一状态，以及升降机10带动丝杠12下降至预定工位、电机11动力输出轴与丝杠12分离的第二状态。在侧舱门压板19与侧舱门门板3之间还设有固连的导轨支撑杆16。侧舱门门框5上设有O形密封圈7。

其工作具体情况如图1-图3所示：