[实用新型]一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板及加热装置

权利要求书

1.一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板，其特征在于：包括底板，所述底板包括框架及框架内形成的开孔，在开孔中固定在框架上设有多条用于承载硅片的金属丝。

2.根据权利要求1所述的制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板，其特征在于：所述金属丝设在开孔中并固定在框架上，金属丝上设有固定硅片的定位块。

3.根据权利要求2所述的制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板，其特征在于：所述多条金属丝沿所述框架的第一方向和/或第二方向交叉设置，形成多个承载区域，可同时承载多个硅片。

4.根据权利要求1所述的制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板，其特征在于：所述框架上设有张紧机构，所述金属丝通过设在框架边缘的张紧机构拉紧。

5.根据权利要求1所述的制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板，其特征在于：所述载板可由A×B的多个载板拼接而成，其中A≥1，B≥1。

6.一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的加热装置，其特征在于：包括载板和加热板，所述载板放置在加热板之上，所述载板包括底板，所述底板包括框架及框架内形成的开孔，在开孔中固定在框架上设有多条用于承载硅片的金属丝，所述加热板上设有与金属丝对应的凹槽，硅片加热时，金属丝沉入对应凹槽内。

7.根据权利要求6所述的制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板，其特征在于：所述金属丝设在开孔中并固定在框架上，金属丝上设有固定硅片的定位块。

8.根据权利要求7所述的制作太阳能电池片时用于硅片沉积的加热装置，其特征在于：所述多条金属丝沿所述框架的第一方向和/或第二方向交叉设置，形成多个承载区域，可同时承载多个硅片。

9.根据权利要求6所述的制作太阳能电池片时用于硅片沉积的加热装置，其特征在于：所述框架上设有张紧机构，所述金属丝通过设在框架边缘的张紧机构拉紧。

10.根据权利要求6所述的制作太阳能电池片时用于硅片沉积的加热装置，其特征在于：所述载板可由A×B的多个载板拼接而成，其中A≥1，B≥1。