[实用新型]CVI沉积碳连续生长炉

权利要求书

1.CVI沉积碳连续生长炉，其特征在于：包括加热炉体、真空系统、进料真空腔室、出料真空腔室、导向机构、牵引机构、燃烧器和反应腔室，所述反应腔室置于所述加热炉体内，所述导向机构置于所述进料真空腔室内，所述牵引机构设置于所述出料真空腔室内，所述进料真空腔室、所述反应腔室和所述出料真空腔室均与所述真空系统连接，所述进料真空腔室和所述出料真空腔室均与所述反应腔室连接，所述燃烧器与所述反应腔室连通。

2.根据权利要求1所述的CVI沉积碳连续生长炉，其特征在于：所述进料真空腔室和所述出料真空腔室均连接有真空计，所述反应腔室连接有进气管道，所述进气管道上设置有进气阀。

3.根据权利要求1所述的CVI沉积碳连续生长炉，其特征在于：所述真空系统包括真空管道、真空阀门和真空泵，所述进料真空腔室通过所述真空管道与所述真空泵连接，所述反应腔室通过所述真空管道与所述真空泵连接，所述出料真空腔室通过所述真空管道与所述真空泵连接，所述真空阀门设置于所述真空管道上。

4.根据权利要求3所述的CVI沉积碳连续生长炉，其特征在于：所述真空管道上还设置有压力调节阀、压力开关和压力传感器。

5.根据权利要求1所述的CVI沉积碳连续生长炉，其特征在于：所述进料真空腔室包括第一腔壁和第一上盖板，所述第一上盖板通过第一铰链与所述第一腔壁连接，所述出料真空腔室包括第二腔壁和第二上盖板，所述第二上盖板通过第二铰链与所述第二腔壁连接。

6.根据权利要求1或5所述的CVI沉积碳连续生长炉，其特征在于：所述进料真空腔室内还设置有第一固定轴，所述出料真空腔室内还设置有第二固定轴，所述牵引机构包括驱动装置和牵引轮，所述驱动装置的输出轴与所述第二固定轴连接，并且所述驱动装置的输出轴上还设置有磁流体，所述导向机构包括导向轮，所述导向轮设置于所述第一固定轴和所述牵引轮之间，所述牵引轮设置于所述导向轮和所述第二固定轴之间。

7.根据权利要求1所述的CVI沉积碳连续生长炉，其特征在于：所述加热炉体包括外壳层、保温层、内壳层和加热丝，所述保温层位于所述外壳层和所述内壳层之间，所述加热丝设置于所述内壳层内。

8.根据权利要求1所述的CVI沉积碳连续生长炉，其特征在于：所述进料真空腔室通过第一法兰盘与所述反应腔室连接，所述第一法兰盘和所述反应腔室之间设置有密封圈，所述第一法兰盘上设置有水冷通道；所述出料真空腔室通过第二法兰盘与所述反应腔室连接，所述第二法兰盘和所述反应腔室之间设置有密封圈，所述第二法兰盘上设置有水冷通道。