[实用新型]CVI沉积碳连续生长炉有效
申请号: | 201520506848.1 | 申请日: | 2015-07-14 |
公开(公告)号: | CN204779796U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 李丙科;钱锋;姚飞;孙丁群;宋银海 | 申请(专利权)人: | 东莞帕萨电子装备有限公司 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26 |
代理公司: | 广东莞信律师事务所 44332 | 代理人: | 曾秋梅 |
地址: | 523000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | cvi 沉积 连续 生长 | ||
技术领域
本实用新型属于生长炉技术领域,尤其涉及一种CVI沉积碳连续生长炉。
背景技术
CVI(化学气相渗透ChemicalVaporInfiltration)沉积碳连续生长炉是用于在碳纤维或其它纤维上连续沉积碳的设备。目前,CVI沉积碳连续生长炉一般是在高于大气压下,在碳纤维或其它纤维上沉积碳,这就导致沉积的碳致密性差、均匀性不好,连续性也较差,而且需要较多的气体。
此外,现有技术中,需要先人工将碳纤维或其它纤维绕在工装上,再将整个工装放到生长炉内,这就导致碳纤维等容易断裂,而且费时,费力。
有鉴于此,确有必要提供一种CVI沉积碳连续生长炉,其在真空状态下进行碳沉积,形成的碳沉积层致密性好、均匀性好,而且连续性佳,效率高,需要的气体量少。
实用新型内容
本实用新型的目的在于:针对现有技术的不足,而提供一种CVI沉积碳连续生长炉,其在真空状态下进行碳沉积,形成的碳沉积层致密性好、均匀性好,而且连续性佳,效率高,需要的气体量少。
为了达到上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
CVI沉积碳连续生长炉,包括加热炉体、真空系统、进料真空腔室、出料真空腔室、导向机构、牵引机构、燃烧器和反应腔室,所述反应腔室置于所述加热炉体内,所述导向机构置于所述进料真空腔室内,所述牵引机构设置于所述出料真空腔室内,所述进料真空腔室、所述反应腔室和所述出料真空腔室均与所述真空系统连接,所述进料真空腔室和所述出料真空腔室均与所述反应腔室连接,所述燃烧器与所述反应腔室连通。
作为本实用新型CVI沉积碳连续生长炉的一种改进,所述进料真空腔室和所述出料真空腔室均连接有真空计,所述反应腔室连接有进气管道,所述进气管道上设置有进气阀。
作为本实用新型CVI沉积碳连续生长炉的一种改进,所述真空系统包括真空管道、真空阀门和真空泵,所述进料真空腔室通过所述真空管道与所述真空泵连接,所述反应腔室通过所述真空管道与所述真空泵连接,所述出料真空腔室通过所述真空管道与所述真空泵连接,所述真空阀门设置于所述真空管道上。
作为本实用新型CVI沉积碳连续生长炉的一种改进,所述真空管道上还设置有压力调节阀、压力开关和压力传感器。
作为本实用新型CVI沉积碳连续生长炉的一种改进,所述进料真空腔室包括第一腔壁和第一上盖板,所述第一上盖板通过第一铰链与所述第一腔壁连接,所述出料真空腔室包括第二腔壁和第二上盖板,所述第二上盖板通过第二铰链与所述第二腔壁连接。
作为本实用新型CVI沉积碳连续生长炉的一种改进,所述进料真空腔室内还设置有第一固定轴,所述出料真空腔室内还设置有第二固定轴,所述牵引机构包括驱动装置和牵引轮,所述驱动装置的输出轴与所述第二固定轴连接,并且所述驱动装置的输出轴上还设置有磁流体,所述导向机构包括导向轮,所述导向轮设置于所述第一固定轴和所述牵引轮之间,所述牵引轮设置于所述导向轮和所述第二固定轴之间。
作为本实用新型CVI沉积碳连续生长炉的一种改进,所述加热炉体包括外壳层、保温层、内壳层和加热丝,所述保温层位于所述外壳层和所述内壳层之间,所述加热丝设置于所述内壳层内。
作为本实用新型CVI沉积碳连续生长炉的一种改进,所述进料真空腔室通过第一法兰盘与所述反应腔室连接,所述第一法兰盘和所述反应腔室之间设置有密封圈,所述第一法兰盘上设置有水冷通道,用于保护密封圈;所述出料真空腔室通过第二法兰盘与所述反应腔室连接,所述第二法兰盘和所述反应腔室之间设置有密封圈,所述第二法兰盘上设置有水冷通道,用于保护密封圈。
使用时,碳纤维通过所述导向机构从进料真空腔室进入反应腔室,经过反应腔室后连接到出料真空腔室的牵引机构上,关闭进料真空腔室、出料真空腔室盖板,通电加热炉体,将反应腔室加热到设定温度,然后打开真空阀门、真空泵,将进料真空腔室、反应腔室、出料真空腔室抽到设定真空值,然后打开进气阀向反应腔室内通入工艺气体,通过压力调节阀将反应腔室的压力控制在设定的压力值内,开启牵引机构,使碳纤维按照设计的速度连续通过反应腔室,碳纤维在经过反应腔室过程中,在其表面沉积所需的涂层。
相对于现有技术,本实用新型在真空状态下进行碳沉积,形成的碳沉积层致密性好、均匀性好,而且连续性佳,效率高,需要的气体量少。而且导向机构和牵引机构的设置可以大大提高碳沉积的效率。
附图说明
图1为本实用新型的剖视结构示意图。
图2为本实用新型的俯视结构示意图。
图3为本实用新型的左视结构示意图。
其中:
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的