[实用新型]一种制绒清洗机

权利要求书

1.一种制绒清洗机，包括位于清洗机内部的制绒槽(2)、碱槽(4)、HF/HCL酸槽(6)及风干槽(8)，清洗机的两端分别设有若干制绒轨道入口(1)和与制绒轨道入口(1)一一对应的制绒轨道出口(9)，其特征在于，还包括称重装置及与称重装置连接的计算机(11)；

所述称重装置包括安装在制绒轨道入口(1)处的入口称重装置(1.1)和安装在制绒轨道出口(9)处的出口称重装置(9.1)，所述入口称重装置(1.1)和出口称重装置(9.1)分别将测量数据传递给计算机(11)，由计算机(11)依照逻辑编码自动计算每片硅片的制绒减薄量。

2.根据权利要求1所述的一种制绒清洗机，其特征在于，所述制绒槽(2)与碱槽(4)间设有第一水槽(3)。

3.根据权利要求2所述的一种制绒清洗机，其特征在于，所述碱槽(4)与HF/HCL酸槽(6)间设有第二水槽(5)。

4.根据权利要求3所述的一种制绒清洗机，其特征在于，所述HF/HCL酸槽(6)与风干槽(8)间设有第三水槽(7)。

5.根据权利要求4所述的一种制绒清洗机，其特征在于，该清洗机包括若干条制绒轨道，每条制绒轨道包括一个制绒轨道入口(1)和一个与该制绒轨道入口(1)对应的制绒轨道出口(9)，硅片从制绒轨道入口(1)进入，经入口称重装置(1.1)后，依次经过制绒槽(2)、第一水槽(3)、碱槽(4)、第二水槽(5)、HF/HCL酸槽(6)、第三水槽(7)及风干槽(8)后，再经出口称重装置(9.1)，最终经制绒轨道出口(9)排出；

所述计算机(11)分别计算入口称重装置(1.1)与出口称重装置(9.1)中测得硅片重量，计算经过该条轨道的每片硅片的减薄量。

6.根据权利要求5所述的一种制绒清洗机，其特征在于，该清洗机还包括储备槽(10)，所述储备槽(10)与制绒槽(2)相连，制绒酸液在制绒槽(2)和储备槽(10)间循环流动。

7.根据权利要求5所述的一种制绒清洗机，其特征在于，该清洗机包括M条制绒轨道，其中5≤M≤15。

8.根据权利要求1、6或7所述的一种制绒清洗机，其特征在于，所述制绒清洗机为水平滚轮式，硅片正面朝上放置在滚轮上，由滚轮带动前行进入清洗机内部。

9.根据权利要求8所述的一种制绒清洗机，其特征在于，该清洗机包括5条制绒轨道。